Gebraucht ADE / KLA / TENCOR WaferSight #9235753 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR WaferSight ist ein fortschrittliches Inline-Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das auf der patentierten Weißlicht-Interferometrie (WLI) -Technologie basiert. ADE WaferSight ist eine kostengünstige zerstörungsfreie Wafer-Testlösung, die alle Arten von Oberflächen messen kann - von Makromerkmalen bis hin zu nanoskaligen Tiefen. Das innovative Design des Systems ermöglicht verkürzte Zykluszeiten und eine verbesserte Qualitätskontrolle und ermöglicht die Erkennung und Charakterisierung von Bei-Wafer-Defekten. Das automatisierte Setup von KLA WaferSight ermöglicht eine schnelle Anpassung an Wafer unterschiedlichster Größen, Materialien und Geometrien, wodurch Prozessfehler und globale Phänomene schneller charakterisiert werden können. Darüber hinaus bietet es In-Line-Wafer-Tests sowohl für statistische als auch für Min/Max-Werte - von der Innen- bis zur übergreifenden Wafermessung. Die integrierte Optik in WaferSight ermöglicht hochpräzise 3D-Messungen der Waferoberfläche. Die Optik ermöglicht auch die Anwendung variabler Spurenabtastungen über eine bestimmte Oberfläche, wodurch Ungleichmäßigkeiten und eine detaillierte Oberflächencharakterisierung festgestellt werden können. Dies führt zu einer verbesserten Fehlererkennung und -analyse auf Waferebene sowie zu einer genauen 3D-und Profilmessung der Topographie. Mit Hilfe der optischen Beugung kann TENCOR WaferSight auch Oberflächen- und Merkmalseigenschaften von CD, Breite und Ebenheit messen. Darüber hinaus kann ADE/KLA/TENCOR WaferSight für analytische Zwecke wie Overlay-Messtechnik, Fehlertrendprofilanalyse und Prozesseinheitlichkeitsüberwachung eingesetzt werden. Die Software von ADE WaferSight kann an die Kundenanforderungen angepasst werden und bietet eine vollständige Integration mit Prozesssteuerungssoftware und Integration in die Automatisierung. Visualisierungs- und Reporting-Optionen stehen in Echtzeit-Webbrowser, PDF-Format oder über einen externen Berichtsgenerator zur Verfügung, während eine Vielzahl von Datenanalysetechniken zur weiteren Datenoptimierung zur Verfügung stehen. Zusammenfassend ist KLA WaferSight ein Inline-Wafer-Prüf- und Messsystem, das schnelle und zuverlässige Messungen für detaillierte Oberflächencharakterisierung, genaue 3D-und Profil-Topographiemessungen und Prozesssteuerung bietet. Es ist weiter anpassbar und bietet kostengünstige Leistung, so dass es eine ideale Wahl für Prozessüberwachung und Fehlererkennung in der Halbleiterherstellung.