Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9121584 zu verkaufen
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ID: 9121584
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12"
Install type: Stand alone
(3) Cassette interface: FOUP, 12"
Roll-around ergo station with touch screen
Status lamp
Options:
Slope reconstruction
CH analysis
Profile grade
Discrete inspection
Defect review
ARAMS (ES8)
CE Marked
Power requirements: 120/208 V, 8 A, Single phase / 3 Phase, 5-Wire, 50/60 Hz
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung mit Schlüsseltechnologie für nanoskalige Überwachung und Prozesssteuerung. AMAT NANOSEM 3D ermöglicht eine präzise Messung von Mustern bis < 10 nm und eine genaue 3D-Bildgebung im Nanobereich über große Flächen. Es wird verwendet, um eine Vielzahl von Materialien und Prozessen zu bewerten, einschließlich Verarbeitung, Messtechnik und Fehleranalyse in einem breiten Spektrum von Halbleiter-, Optoelektronik und Nanomaterialien Anwendungen. Angewandte Materialien NANOSEM 3D-System kombiniert patentierte Lithographie/Linie Degradationsanalyse (LDA) mit Bordelektronenmikroskopie (EM) Tomographie und automatisierte Materialanalyse Werkzeuge. Das Gerät bietet komplette 3D-Blickfeld-Bilder (FOV), die genaue Details von 2D- und 3D-Strukturen sowie LER-Messungen (Line Edge Roughness) enthalten. Die LDA-Technologie bietet fortschrittliche, automatisierte Fähigkeiten zur Erkennung von Kantenrauhigkeiten und kann bis auf wenige Nanometer sogar kleinere Funktionen erkennen, quantifizieren und charakterisieren. NANOSEM 3D-Systeme verfügen über eine vollautomatische Bildaufnahmefähigkeit, hohe Durchsatzleistung und Echtzeit-Visualisierung von Daten. Die Maschine verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche mit Assistenten und Handbüchern, die eine effiziente und komfortable Bedienung ermöglichen. Es verfügt auch über eine breite Palette von erweiterten Funktionen, einschließlich Fernbedienung und lokaler Betrieb, hochauflösende Bilder, 4-D-Bildgebung und spezialisierte Analysetools. AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D Tool wurde entwickelt, um den Prozessfluss zu optimieren und die Analysezeit zu reduzieren und gleichzeitig hochwertige, detaillierte Daten bereitzustellen. Die integrierte Plattform ermöglicht die Analyse großer Flächen von Mustern über eine erweiterte Abtasttiefe und ermöglicht eine integrierte Vollansicht von 3D-Strukturen. Darüber hinaus ermöglicht das Asset eine präzise Analyse der während des Testvorgangs gesammelten Daten und bietet in jeder Phase eine präzise Bildauflösung. AMAT NANOSEM 3D-Systeme eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, wie messtechnische und messtechnisch unterstützte Prozesskontrolle, Fehlererkennung und -analyse, Linienkantenrauhigkeitsmessungen und Linienbreitenmessungen. Dieses Modell ist ideal für den Einsatz in Halbleiter-, Optoelektronik- und Nanomaterialien-Produktionsprozessen. Darüber hinaus eignet sich das Gerät gut für kundenspezifische Lösungen für spezifische Anwendungen. Angewandte Materialien NANOSEM 3D bietet modernste Lösungen für genaue und zuverlässige Testinformationen.
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