Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9298837 zu verkaufen
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ID: 9298837
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine Kombination aus fortschrittlichen Technologien verwendet, um Echtzeit-3D-Oberflächenmapping einzelner Strukturen und Geräte auf Wafern bereitzustellen. Das System ist mit einem hochauflösenden optischen Mikroskop für die nanoskalige Bildgebung, einem CW-Laser zur Kantenerkennung und einer dynamischen Biegepositionierstufe für ein erweitertes Sichtfeld ausgestattet. Die integrierte Software ermöglicht die automatisierte Datenerfassung und -analyse über erweiterte Regionen sowie die Hochgeschwindigkeitsbildgebung einzelner Strukturen. Die AMAT NANOSEM 3D-Einheit bietet eine hervorragende Bildauflösung mit hoher Empfindlichkeit und ermöglicht die Erfassung von Oberflächenmerkmalen, die mit anderen Technologien schwer zu erkennen sind. Der CW-Laser bietet eine genaue Kantenerkennung und die dynamische Biegestufe ermöglicht eine erweiterte Bildgebung im Sichtfeld und eine schnelle Bühneneinstellung. Die kombinierten Merkmale des hochauflösenden Mikroskops und der dynamischen Biegestufe ermöglichen die Oberflächenbildgebung und Messungen an kleinen (Submikron) -Merkmalen auf der Oberfläche des Wafers mit der Erkennung vieler Detailmerkmale im Mikrometer-Maßstab. Neben der bildgebenden Funktion unterstützt die APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D Maschine auch die robuste Oberflächenmesstechnik. Die intuitive Echtzeit-Umgebung bietet ein effizientes Werkzeug für Fehlermanagement, Prozessoptimierung und Fehleranalyse. Mit Hilfe sowohl hochauflösender als auch weiträumiger Analysen kann das Oberflächenmesstechnikwerkzeug topologische und dimensionale Informationen für komplexe Waferstrukturen erfassen. Diese leistungsstarke Kombination von Funktionen macht NANOSEM 3D Asset zu einem idealen Werkzeug für eine umfassende Waferanalyse. AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D-Modell ist eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den genauen Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird und für den Einsatz in der Forschung und Entwicklung und in der Kleinserienproduktion geeignet ist. Das System ist kompakt und erfordert eine minimale Einrichtung und Wartung. Alle Komponenten des Geräts sind vollautomatisiert und über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) gesteuert und bieten ein benutzerfreundliches und intuitives Erlebnis. Die Maschine ist auch sehr zuverlässig mit Funktionen wie automatische Kalibrierung und Fehlererkennung.
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