Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9390681
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für umfassende Lithographie-Produktionstests und Fehleranalysefunktionen entwickelt wurde. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, sowohl Einzel- als auch Mehrschichtstrukturen auf Halbleitersubstraten, einschließlich Frontend- und Verbindungsstrukturen, genau und effizient zu charakterisieren. AMAT NANOSEM 3D verfügt über eine Multisonden-Nanomanipulationsstufe zum automatisierten Scannen mehrerer Sonden mit hoher Geschwindigkeit und ein hochauflösendes digitales Bilderfassungssystem für präzise Messungen und Analysen. Das Gerät ist in der Lage, Bilder von bis zu 1024 x 1024 Pixeln in zwei- und dreidimensionalen (3D) Formaten zu erfassen, was es ideal für Kunden macht, die Kleinheitsabweichungen, Unterschiede in Dicke und Materialablagerungen sowie die strukturelle Topographie des Substrats beurteilen müssen. Die Maschine ist mit einer Reihe von Software-Optionen, einschließlich Optical Tool Kit, die automatisierte Vor- und Nachbearbeitungs-Tools von Datendateien bietet, sowie Software-Unterstützung für den direkten Datenimport und Export, so dass es einfacher, Testdaten zu analysieren. Des Weiteren integriert sich das Tool in eine Vielzahl von Softwarepaketen, wie die Scanning Nanoprobe Manipulation Software (SNMS), die es dem Anwender ermöglicht, eine Abtastsonde präzise zu dem gegebenen Substrat zu navigieren. Angewandte Materialien NANOSEM 3D verfügt auch über integrierte Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme für eine effiziente Produktionsüberwachung und Datenerfassung sowie eine thermische Steuerung auf temperaturempfindlichen Substraten, um einen stabilen Waferprozess zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen mechanischen Aktuator für X/Y-Bewegung und einen Monitor zur Regelung von Neigungs- und Abtastgeschwindigkeiten. Darüber hinaus kann NANOSEM 3D auf eine Vielzahl von Prozessen angewendet werden, einschließlich Tiefgrabenätzen, CMP, Metallmesstechnik und Dielektrika hoher Dichte. Es wurde entwickelt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, die erforderlich sind, um die Qualitätskontrolle kritischer Prozessschritte und Qualitätsstandards aufrechtzuerhalten.
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