Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9412455 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um die kritischen Abmessungen elektronischer Strukturen auf atomarer Ebene genau zu messen. Es ist in der Lage, 3D-Mikrostrukturen mit einer zerstörungsfreien, hochauflösenden Bildgebungstechnik und Analytik zu studieren. AMAT VeraSEM 3D wurde entwickelt, um Informationen über die Topologie und Orientierung einzelner Merkmale innerhalb eines Geräts sowie die Top-Down-Charakterisierung bereitzustellen. Dieses System hat einen Durchsatz von bis zu 20 Waferstellen pro Stunde, mit einer Messdauer von Sekunden bis Minuten pro Düse, je nach Komplexität der Merkmalsmessung. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Abbildungskammer, einem Rasterelektronenmikroskop und einer Probenvorbereitungsstufe. Die Abbildungskammer ist eine benetzte Maschine und beherbergt die Probe, so dass eine Abbildung über die bevorzugte Umgebung für ordnungsgemäße Gerätemessungen möglich ist. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) ist ein ultrahochauflösendes Werkzeug, das Bilder mit Merkmalsgrößen von bis zu 5 Nanometern Größe erzeugen kann. Schließlich dient die Probenvorbereitungsstufe zur Erzeugung einer ebenen, sauberen Oberfläche für die Bildgebung sowie zur Verarbeitung von Proben zu einer homogenen bildfertigen Schicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN VeraSEM 3D hat die Fähigkeit, Scan-Typen und Scan-Routen zu automatisieren, so dass der Benutzer on-the-fly Bildgebung und Messtechnik, sowie vordefinierte 3D-Analyse-Routen zu programmieren. Die Anlage bietet auch eine Vielzahl fortschrittlicher messtechnischer Funktionen, wie Filmdickenmessung und Kompositionsanalyse, Kompositionsmapping und erweiterte Bildanalyse. Die Leistung von VeraSEM 3D wird durch den Einsatz einer ausgeklügelten Software, die eine umfassende Analyse der Ergebnisse ermöglicht, weiter gesteigert. Die Software bietet datenintensive Werkzeuge zur Analyse und Interpretation der Bilder und Messdaten, die für verschiedene Anwendungen wie Gerätelebensdauervorhersage, mehrschichtige Gerätesimulation und statistische Prozesssteuerung verwendet werden können. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D ein Wafertest- und Metrologiemodell, das die kritischen Dimensionen elektronischer Strukturen auf atomarer Ebene analysiert. Die erweiterten Softwarefunktionen ermöglichen komplexe Scan-, Bildgebungs- und Analyseprozesse, die für verschiedene Anwendungen verwendet werden können.