Gebraucht AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Serienfertigung und aktive Überwachung von Halbleiterbauelementen. Das System misst Halbleiterscheiben mit einer vollautomatischen Sequenz einschließlich Waferträgerhandhabung, Waferausrichtung, Probenplatzierung und messtechnischer Datenerfassung. Die Einheit umfasst eine Messtechnik-Station mit einem zweigelenkigen Arm, einen Probenträgerlader und Entlader, eine Vision-Maschine und einen Spindelmotor zur automatisierten Oberflächenabtastung. Ein robustes und wiederholbares Wafer-Spannfutter richtet die Wafer präzise auf den Metrologie-Arm aus, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen zu gewährleisten. Der Messtechnik-Arm ist in der Lage, hohe Präzision, Sub-Mikron-Bewegungen, ermöglicht Messungen von kleinen Geräten und Beulen mit höchster Genauigkeit. KLA AIT I verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche für Touchscreen. Die GUI bietet Echtzeit-Prozess-Feedback, Feed-Forward-Funktionen mit statistischer Prozesssteuerung und erweiterte Datenanalyse für die Produktion und Prozessoptimierung. Darüber hinaus bietet es umfassende Prozess- und Wafer-Engineering-Tools für die Prozessentwicklung und Verfahrenstechnik. Das Werkzeug kann eine Vielzahl von Parametern wie Oberflächentopographie, elektrische Leitung, Bildkontrast und Reflektivität messen. Es kann verwendet werden, um Probleme wie Hot Spots oder Fails vorherzusagen und zu beheben, Filmdicken und Glätte zu überwachen, Rauheit und Krümmung von Strukturen zu überprüfen, den Widerstand zu charakterisieren und die Defektivität in Halbleiterbauelementen zu bewerten. TENCOR AIT I basiert auf einer fortschrittlichen Hardware- und Softwarearchitektur, die eine zuverlässige Datenerfassung und -analyse ermöglicht. Das innovative Wafer Handling sorgt dafür, dass Wafer mit hoher Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit auf die Station geladen werden. Mit seiner benutzerfreundlichen Touchscreen-GUI und integrierten Software-Tools können Bediener die Maschine einfach steuern und schnelle und zuverlässige Messungen durchführen. Das Modell ist zuverlässig und erschwinglich und eignet sich für den Einsatz in der Hochvolumen-Halbleiterherstellung. Es liefert schnelle und genaue Messtechnik-Daten mit seiner fortschrittlichen Bildverarbeitung und Machine-Vision-Ausrüstung. Die integrierten Software-Tools helfen dabei, Prozesstrends zu identifizieren und den Produktertrag zu verbessern.