Gebraucht APPLIED PRECISION / RUDOLPH WaferWorx #9248266 zu verkaufen
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ID: 9248266
Probing process analysis system
P/N: 53-450000-001
GENMARK Robot and prealigner
OLYMPUS MX80-F Inspection microscope
Objectives: 5x, 10x.
APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die hilft, konsistente, hochwertige Wafer-Herstellungsprozesse sicherzustellen. Das System bietet mehrere Lösungen für eine Vielzahl von Anforderungen an Wafertests und messtechnische Analysen in der Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie. RUDOLPH WaferWorx kann verschiedene Oberflächen- und Höheneigenschaften von Wafern und komplexen Strukturen messen. Es bietet zahlreiche Möglichkeiten, einschließlich Röntgenreflexion und Streuung, optische und Elektronenmikroskopie, sowie Sondierungstechniken. Diese Techniken ermöglichen eine präzise Charakterisierung von Parametern wie Spannung, Widerstand und Oberflächenmorphologie. Mit APPLIED PRECISION WaferWorx können Form, Profil und Textur der Oberfläche jedes Wafers auf hohe Genauigkeit bestimmt werden. Es ist auch in der Lage, Merkmale wie Beulen, Stacheln und Gruben auf dem Wafer zu messen, die im Herstellungsprozess wesentlich sind. Die Maschine umfasst Module zur automatischen Waferbett-Neigung-Messung, zur Messung der Oberflächentopographie und zur Abbildung dreidimensionaler Strukturen. Es ist auch mit einem Autofokus-Werkzeug ausgestattet, das eine genaue Positionierung und Messung des Wafers gewährleistet. Das Asset nutzt auch die Laserstrahlablenkung, die eine präzise Abtastung und Bildgebung ermöglicht. Darüber hinaus steht ein einzigartiger IFAT-Algorithmus (Interactive Focus Alignment Tool) zur Verfügung, mit dem der Benutzer je nach den spezifischen Prüf- und Messanforderungen unterschiedliche Parameter einstellen kann. Das Modell unterstützt auch Mehrbenutzer-Kommunikationsprotokolle für sichere Datenübertragung und -speicherung. Es kann mit mehreren Softwareanwendungen betrieben werden und unterstützt auch branchenüblichen Fernzugriff. WaferWorx Ausrüstung ist einfach zu installieren und zu bedienen. Es umfasst mehrere Hardwarekomponenten, wie die Waferstufe, den Prozessor, den Monitor und die Laserstrahlablenkung. Darüber hinaus umfasst das System Überwachungsmodule mit der Fähigkeit, Waferdaten zu speichern und zu analysieren. Insgesamt ist APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die hilft, konsistente, hochwertige Wafer-Herstellungsprozesse sicherzustellen. Es bietet zahlreiche Funktionen, darunter Röntgenreflexion und Streuung, optische und Elektronenmikroskopie sowie automatische Wafer-Bett-Neigung-Messung, die eine genaue Charakterisierung von Parametern wie Spannung, Widerstand und Oberflächenmorphologie ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine einfach zu installieren und zu bedienen und unterstützt mehrere Softwareanwendungen.
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