Gebraucht ASM Dragon 2300 #293821578 zu verkaufen
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ID: 293821578
Weinlese: 2005
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) systems
(4) Plasma‑enhanced Tetraethyl Orthosilicate (PTEOS) systems
2005 vintage.
ASM Dragon 2300 ist eine vollautomatische Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die anspruchsvollsten Produktions- und Messanforderungen konzipiert wurde. Das System besteht aus einer Wafer-Ebene Inspektion/Test und Messkammer, mit dreidimensionalen automatischen Vision-Einheit zur Identifizierung und Klassifizierung der Wafer. Die vollständig geschlossene, klimatisierte Kammer beherbergt eine helle, weiße Umgebung mit identischer gleichmäßiger Beleuchtung und partikelfreier Luftzirkulation, die hervorragende Ergebnisse gewährleistet. Die Maschine nutzt eine ausgeklügelte optische Technologie kombiniert mit in-line automatisierten Tests, Messungen und Auswertungen, um eine präzise Inspektion, Analyse und Messtechnik kompletter Waferbereiche berührungslos anzubieten. Die visuelle 3D-Inspektion erfolgt mit einer Oberflächenbildtechnik zur Messung von Oberflächentopographie, Geometrie, Textur und Geschwindigkeit. Es kann auch Fehler bis zur 500nm Skala erkennen, während es ein beispielloses Niveau an Qualität und Genauigkeit bietet. Darüber hinaus verfügt das Tool über fortschrittliche Automatisierungskomponenten wie motorisierte Stufen, Inspektionshaken, Be-/Entladeroboter und einen spezialisierten Controller, der die Ausrichtung und Positionierung von Wafern überwacht und einstellt. So kann das Asset schnell und automatisch die beste Position für hochwertige Bilder finden. Das Modell soll zur Steigerung der Prozesserträge und Qualitätssicherung beitragen, indem Waferproben in Sekundenschnelle mit hoher Genauigkeit überprüft, vermessen und charakterisiert werden. Die hochauflösenden bildgebenden Funktionen gewährleisten eine genaue und wiederholbare Messung für höhere Erträge und eine Qualitätskontrolle der Produkte. Das Gerät ist extrem flexibel und kann schnell für verschiedene Anwendungen von der einfachen Fehlererkennung bis zur komplexen 3D-Bildgebung und -analyse konfiguriert werden. Darüber hinaus ist es mit fortschrittlichen Software-Algorithmen für die automatisierte Klassifizierung von Defekten und Materialeigenschaften ausgestattet, was es zu einer zuverlässigen und effizienten Lösung für die Fertigungsindustrie macht.
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