Gebraucht ASM Dragon 2300 #9290805 zu verkaufen

ID: 9290805
Wafergröße: 12"
PECVD System, 12" 2006 vintage.
ASM Dragon 2300 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug für die Lithographie- und Inspektionsprozesse. Es bietet eine High-End-Optik und Abtastfähigkeit, die sich zum Testen einer Vielzahl von Halbleitermaterialien eignet, darunter Dünnschichttransistoren, Silizium-on-Isolatoren (SOI) und organische Leuchtdioden (OLEDs). Das System ist in der Lage, die Wafer-Testzeit drastisch zu reduzieren, da es die asynchrone Messtechnik mehrerer Wafer gleichzeitig ermöglicht. Dragon 2300 verfügt über eine einzigartige zweiachsige Scaneinheit mit einem nanopräzisen Drehkopf, der in ein zweistufiges Videomikroskop integriert ist. Diese Konfiguration gewährleistet eine schnelle und konsistente Probenahme der Waferoberflächen, so dass Submikron-Pegelmessungen möglich sind, die für die Überprüfung der Topographie des Wafers erforderlich sind. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem hochauflösenden bildgebenden Sensor und einer Software zur Charakterisierung optischer Merkmale wie Textur, Rauheit und Oberflächenhöhe ausgestattet. Ein weiteres nützliches Merkmal der ASM Dragon 2300 Möbel ist seine leistungsstarke eingebettete Software. Dazu gehört eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Benutzerinteraktion mit der Maschine vereinfacht, und eine automatisierte Bildverarbeitungsroutine zur Echtzeitauswertung der Waferoberfläche. Die Software kann die Messungen auch auf andere Parameter wie Waferdefektivität ausdehnen. Darüber hinaus bietet Dragon 2300 eine integrierte Inspektionslösung zur Messung kritischer Maßparameter wie Spalt, Breite und Tiefe mit höchster Präzision. Diese Funktion ermöglicht eine Prozesssteuerung und -optimierung, was wiederum die Kosten für die Waferproduktion senkt und die Ertragsqualität verbessert. ASM Dragon 2300 bietet neben der dimensionalen Messtechnik auch die Möglichkeit der Fehleranalyse und Überprüfung. Dies kann sowohl mit der hochauflösenden Bildgebungsfunktion als auch mit den automatisierten Software-Routinen erfolgen. Dragon 2300-Tool enthält auch ein vollautomatisches Asset zur schnellen und effizienten Inspektion und Analyse von Wafern. Dazu gehören Datenprotokollierungsfunktionen, die Teilelokalisierung und die Möglichkeit, Prozessparameter für mehr Konsistenz und Wiederholbarkeit zu steuern. Zusammenfassend bietet das ASM Dragon 2300 Wafer-Test- und Metrologiemodell ein modernes Werkzeug für Lithographie und Waferinspektion. Seine Eigenschaften ermöglichen eine schnelle und genaue Auswertung der Wafer auf etwaige Defekte und gewährleisten eine effiziente Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente.
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