Gebraucht ASM Dragon 2300 #9294446 zu verkaufen
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ASM Dragon 2300 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine vielseitige und leistungsstarke Plattform, die speziell für die Entwicklung einer fortschrittlichen Prozesskontrolle entwickelt wurde. Das System nutzt eine Kombination aus automatisierter optischer Inspektion (AOI), Widerstandsmesstechnik, dielektrischer Kapazitätsmesstechnik und 3D-Profilmesstechnologie, um detaillierte Waferinformationen schnell zu erfassen und zu analysieren. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche motorisierte Waferstufe, die eine schnelle und präzise Waferausrichtung ermöglicht, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten. AOI on Dragon 2300 nutzt die Brightfield-Bildgebungstechnologie, um Fehler wie fehlende oder beschädigte Muster, Kontamination, Dünnschichtdefekte und kurze Hosen zu erkennen. Funktionen wie die Kantenerkennung können feine Fehler erkennen, die mit anderen Methoden schwer zu erkennen sind. Die Widerstandsmesstechnik verwendet den Widerstand eines Musters, um Informationen über die vordere Seitenfläche eines Wafers zu erhalten. Die dielektrische Kapazitätsmesstechnik kann schnell die Kapazität eines IC messen und dabei helfen, Kurzschlüsse zu identifizieren, die in einer bestimmten Schaltung vorhanden sind. Mit der 3D-Profilometrie-Messtechnik kann die Maschine die Topographie eines Wafers auf einen Auflösungsgrad von 10 nm charakterisieren, mit dem feine nichtleitende Merkmale und Hohlräume von weniger als 3 µm genau gemessen werden können. Das Tool verfügt auch über eine Vielzahl von Bildverarbeitungswerkzeugen, die eine benutzerfreundliche Analyse von Bildern ermöglichen, so dass schnelle Ertrags- und Effektivitätsstudien möglich sind. Diese Tools ermöglichen die Erkundung verschiedener Ertragsparameter und können Konturkarten für eine umfassende Datenanalyse generieren. ASM Dragon 2300 kann für viele andere Anwendungen verwendet werden, wie Waferbonden, chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Lötstöße, Höckerhöhenmesstechnik usw. Dieses Asset kann angepasst werden, um eine Vielzahl von Prozesskontrollanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus wurde Dragon 2300 entwickelt, um die strengsten Wiederhol- und Genauigkeitsanforderungen zu erfüllen und ist somit die ideale Wahl für Produktionsumgebungen.
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