Gebraucht ASML YieldStar S100 #9205646 zu verkaufen

ASML YieldStar S100
ID: 9205646
Wafergröße: 12"
Overlay measurement system, 12" Non functional.
ASML YieldStar S100 ist eine von ASML entwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die Ebenheit, Defektivität und andere wichtige Waferparameter misst, um Ausbeute und Zuverlässigkeit zu verbessern. Es nutzt die fortschrittliche optische Messtechnik einschließlich der räumlichen Lichtinterferenzmikroskopie (SLIM), um den gesamten Wafer zu inspizieren und so umfassende Informationen über die Waferstruktur und ihre Parameter bereitzustellen. ASML YIELDSTAR S-100 umfasst bis zu vier Wafertest- und Messtechnik-Systeme, die jeweils sechzehn Wafer gleichzeitig inspizieren können. Es ist in der Lage, bis zu 30.000 Messpunkte zu messen und verfügt über eine geringe unterirdische Fehlererkennung sowie Dunkelfeld- und Phasenverschiebungsfunktionen. Sein Intra-Feld- und Cross-Field-Messtechnik-System misst Parameter über die gesamte Waferoberfläche und kann präzise Messungen an belichteten und komplexen Schichthalbleitern schnell abschließen. YieldStar S100 bietet auch leistungsstarke Softwarepakete wie Advanced BDF Deformable Mirror (ADM) für effiziente und zuverlässige Messtechnik. Dadurch kann das Gerät in kurzer Zeit eine große Anzahl von Messpunkten bearbeiten und so die Produktivität verbessern. Darüber hinaus nutzt YIELDSTAR S-100 eine EWF-Stufe, die den Wafer automatisch genau bewegt und dreht. Die integrierte Vakuumkammer und die Luftlagerturbine bieten eine kontaminationsfreie Prüfumgebung und sorgen so für eine höhere Genauigkeit der Messungen. ASML „FlexFilm“ Kassettenmaschine wird verwendet, um sicherzustellen, dass die Wafer das Werkzeug im gleichen Zustand erreichen sie das Werk verlassen, ohne zusätzliche Handhabung, die das Ergebnis der Messungen beeinflussen kann. Insgesamt ist ASML YieldStar S100 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologie-Asset, das umfassende, genaue und zuverlässige Ergebnisse für selbst komplexe Schichthalbleiter liefert. Es verfügt über Hochgeschwindigkeitsmessung, geringe unterirdische Fehlererkennung, Phasenverschiebbarkeit und verschmutzungsfreie Tests, die Verzögerungen reduzieren, Erträge optimieren und Kosten sparen können.
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