Gebraucht ASML Yieldstar S200B #9245628 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ASML Yieldstar S200B ist eine hochpräzise Messtechnik zur Messung von Waferparametern und zur Auswertung von Testmustern für die lithographische Herstellung. Das System ermöglicht es Anwendern, die Qualität in Wafer-Fertigungsprozessen zu analysieren, einschließlich kritischer Abmessungen (CD), Linienbreitenrauhigkeit (LWR) und kritischer Orientierung (CO). Die Messeinheit verfügt über einen einstufigen Transferroboter zur präzisen Probenübertragung und -ausrichtung, einen optischen Kopf mit 100x/10x/0.45 numerischen Aperturobjektiven, eine XYZ-Stufe zur Probenerfassung und automatischen Fokuskontrolle sowie einen hochauflösenden LCD-Monitor für verbesserte Bildqualität. Der YieldStar verfügt zudem über eine einstellbare Beleuchtung und ein präzises Substratfutter, um Reflexionen vom getesteten Wafer zu eliminieren. Die Bildverarbeitungsfunktionen der Maschine umfassen Farbbildgebung, digitale Graustufenbildgebung, Bildvergleich, grundlegende Mustererkennung und CD-Messtechnik. Es bietet auch verschiedene Werkzeuge zur Musteranalyse und erweiterte Funktionen wie Mustersuche und Felddichtemessung für die Extraktion und Analyse von hochauflösenden Funktionen. Yieldstar S200B Tool bietet zuverlässige und genaue Analyse durch die Kombination von automatisierten Ausrichtungs- und Messtechniken. Solche Merkmale erweisen sich als besonders nützlich in Anwendungen wie Nanobump-Messtechnik, Single Device Isolation/Charakterisierung und Microvias/Interconnects Analyse. Das Asset verfügt zudem über eine Software-Suite, die eine vollständige Kontrolle über den gesamten Mess- und Analyseprozess bietet und es Anwendern ermöglicht, Testergebnisse schnell und bequem zu verarbeiten und Berichte zu erstellen. Mit seinen vielseitigen Fähigkeiten eignet sich der YieldStar ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, wie die Analyse von Variationen der Wafereigenschaften, Fehlererkennung und -charakterisierung sowie die Entwicklung und Optimierung von Fertigungsprozessen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor