Gebraucht ASML YieldStar S250 #9359414 zu verkaufen
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ID: 9359414
Wafergröße: 12"
Overlay measurement system, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
ASML YieldStar S250 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle und zuverlässige Messung von Waferparametern ermöglicht, die erhöhte Erträge und gleichbleibend hohe Qualität ermöglicht. Das System verfügt über ein integriertes 300mm-Inline-Messtechnik-Modul mit einer Hochdurchsatzarchitektur. Dadurch können Waferparameter wie Flächenwiderstand, Seitenprofil, Fehlerdichte und Dünnschichtdicke sowie zugehörige Geräteparameter wie Dotierstoffgehalte, Oxidschichtdicke und Restspannungsverteilung gemessen werden. OCR- und OGI-Geräte können auch verwendet werden, um Probleme wie Risse oder Partikelablagerungen zu erkennen. Das Gerät ist in der Lage, Silizium und Nicht-Silizium-Wafer mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit zu testen. Es verwendet fortschrittliche Kalibriertechniken und ein optimiertes Sichtfeld über Kopf, so dass die Maschine genaue Messungen vornehmen kann, auch wenn der Wafer nicht zentriert ist. Dadurch wird sichergestellt, dass das Werkzeug zuverlässig und wiederholbar in seiner Leistung ist. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein Laser-Interferometriemodell zur Messung intradüsenkritischer Dimensionen an Auflösungen von einem Nanometer. Dadurch kann das Gerät die strukturierten Strukturen auf jeder Matrize sowie deren Anordnung zueinander genau bestimmen. YieldStar S250 verfügt auch über zahlreiche Sicherheitsfunktionen und -techniken zur Verhinderung von Datenverlust oder anderen Problemen. Es ist für den Betrieb in einer kontrollierten Umgebung konzipiert, mit einem Echtzeit-Bildschirmüberwachungssystem für die Prozesssteuerung und automatisierte Geräteprüfungen zur Diagnose und Fehlerwiederherstellung. Alle diese Merkmale kombiniert machen ASML YieldStar S250 eine ideale Maschine zur Überwachung und Analyse der Qualität von Wafern während der Massenproduktion. Mit diesem Tool können Hersteller Probleme frühzeitig erkennen und so den Gesamtertrag und die Zuverlässigkeit verbessern.
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