Gebraucht BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 #293665341 zu verkaufen
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ID: 293665341
Weinlese: 2011
Loadports
Used for NOVA NovaScan 3090 Next
Robot
Mini env frame
Track
Controller
2011 vintage.
BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 ist eine Wafer-Test- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hohen Durchsatz, Genauigkeit und Zuverlässigkeit in Wafer-Test- und Messtechnik-Umgebungen entwickelt wurde. Das System verfügt über modernste Hardware und leistungsfähige Software und bietet eine präzise Messung von Parametern wie Waferdicke, Gesamtdickenvariation, Ebenheit, zwischen Wafern und kristalliner Fehlererkennung in Hunderten von Proben pro Stunde für die Halbleiterproduktion. Die moderne Hardware verfügt über eine optoelektronische multiparametrische Sensoreinheit, eine hochauflösende CCD-Kamera für die Wärmebildgebung und einen Präzisionslaser-Wegmesssensor. Dies gewährleistet eine genaue und zuverlässige Messung von Tausendstel Millimeter Waferdicke sowie die Detektion und Charakterisierung kristalliner Defekte, wie Hohlräume, Risse und Pinholes. Der Hochgeschwindigkeits-Wafer-Transport von Fixload 6 gewährleistet eine schnelle Datenerfassung und hohe Durchsatzraten bei hoher Genauigkeit. Darüber hinaus minimiert die automatische Kalibrierungsfunktion den Bedarf an manueller Kalibrierung, optimiert die Leistung und reduziert die Betriebskosten. Die Software der Maschine bietet eine umfassende Palette von Analysewerkzeugen für Wissenschaftler und Ingenieure, um eine Vielzahl von Defekteigenschaften zu erkennen und zu verstehen. Dazu gehören sowohl 2D- als auch 3D-Analysen mit genauer Quantifizierung von Fehlertyp und -größe. Die automatisierte Datenextraktion und -analyse wird durch die leistungsstarke Manipulation und Filterung von Parametern wie Oberflächenrauhigkeit, kritische Dimensionen, Die-to-die-Ausrichtung und andere Chip-Level-Defekte ermöglicht. Diese Funktionen werden durch integrierte Mapping-Routinen ergänzt, um eine schnelle und genaue Wafer-Strukturierung zu ermöglichen. Zur kontinuierlichen Prozesskontrolle umfasst die benutzerfreundliche Software von BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 einfach zu bedienende Tools zur statistischen Prozesskontrolle und Algorithmen zur Fehlerminderung zur Unterstützung der Rezepturentwicklung. Auch der Benutzer kann die Software für einzigartige Anwendungen mit hoher Genauigkeit anpassen. Schließlich enthält Fixload 6 eine Reihe erweiterter Optionen, einschließlich Wafer-Ausrichtung, optische Tests und Push/Pull-Scan-Funktionen für erweiterte Wafer-Testfunktionen. Dieses Tool kann in jede Art von Prozess integriert werden, um eine optimierte Datenerfassung, Probenvorbereitung und detaillierte Analyse bereitzustellen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen können Anwender, die schnelle, präzise und zuverlässige Wafertests und Messtechnik benötigen, BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 verwenden, um ihre Anforderungen zu erfüllen.
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