Gebraucht BRUKER-AXS Dektak XT #9282889 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9282889
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2012
Profilometer, 6"
Operating system: Windows 7
Resolution:
Minimum X resolution: 0.017 microns per point
Full scale ranges: 6.5 microns, 65.5 microns, 524 microns, 1mm
Temperature: Operating range, 20°-25°C (68°-77°F)
Relative humidity: Less than 80% (Non-condensing)
Power demand: 1000 VA maximum
Power connection: Standard outlet
Warm-up time: 15 minutes for maximum stability
Vibration: < 70 µg from 1 to 100 Hz on floor with flat noise spectrum
Vacuum (For optional vacuum chuck):
457 - 635 mm Hg (18 - 25")
0.61 - .85 BAR minimum constant vacuum for system with one fitting for 4 mm (5/32") OD tubing
Clean, dry Air (For optional vibration isolation pads):
Max: 275kPa (40psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Regulator adjustable to 70 - 140 kPa (10-20 psi)
Clean, Dry Air (For optional floor model vibration isolation table):
345 kPa (50psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Acoustics: < 60 dB(A) across frequency spectrum
Input voltage: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur automatisierten Qualitätskontrolle und statistischen Prozesskontrolle von Siliziumwafern. BRUKER-AXS DEKTAKXT ist ein wesentliches Werkzeug für die effiziente Herstellung hochpräziser Wafer in der Halbleiterindustrie. Die fortschrittliche Technologie von Dektak XT bietet schnelle und genaue Messungen von Waferbeschichtungsquerschnittsprofilen, Topographie und Oberflächenrauhigkeit. DEKTAKXT ist ein multifunktionales Messtechnikwerkzeug, das zur Gewinnung detaillierter Informationen über die Oberfläche von Wafern entwickelt wurde. Das automatisierte System verwendet eine extrem hohe Genauigkeit, berührungslose, vertikale Abtast- und störungsfreie Profilierungseinheit, um die Topographie, das Querschnittsprofil und die Oberflächenrauhigkeit von blanken und beschichteten Wafern zu messen. Die topographischen Messungen werden mit einem optischen Profilometer der Contour Technology mit außergewöhnlicher Empfindlichkeit, optionalen Interlocks und Probendatenloggern durchgeführt. BRUKER-AXS Dektak XT ist mit fortschrittlichen optoelektronischen Komponenten ausgestattet, die höchste Qualitätsergebnisse mit Präzision von 0,1 nm bis 10 µm gewährleisten. BRUKER-AXS DEKTAKXT bietet Qualitätssicherung durch Erfassung und Quantifizierung von Waferbeschichtungen und Materialabscheidung auf der Oberfläche und in der Nähe der Kanten des Wafers. Darüber hinaus implementiert Dektak XT einen zerstörungsfreien Prüfprozess (NDT), der die Vernichtung von Proben überflüssig macht und so die Produktionskosten senkt. DEKTAKXT bietet zudem einen hohen Automatisierungsgrad. Es ist mit einer Roboter-Lade-/Entlademaschine ausgestattet und bietet Echtzeit-Datenerfassung, Datenarchivierung und Plotingoptionen in vollem Umfang. Dies macht es seinen Benutzern einfach, Daten auf zuvor getesteten Wafern für eine schnelle Analyse zu speichern, darauf zuzugreifen und zu vergleichen. BRUKER-AXS Dektak XT ist die perfekte Lösung für erweiterte Wafertests und Messtechnik. Es stellt genaue Wafertests, Qualitätssicherung und Kosteneffizienz sicher und ist damit die ideale Wahl für die Halbleiterindustrie.
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