Gebraucht BRUKER Contour GT-X8 #9399868 zu verkaufen
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BRUKER Contour GT-X8 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den anspruchsvollsten Anforderungen an die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen gerecht wird. Es bietet einen umfangreichen Satz von Werkzeugen zur Charakterisierung einer breiten Palette von Materialien, Gerätestrukturen und Geometrien. Das System ist mit einem großen Arbeitsbereich mit einer hochgenauen und wiederholbaren 10nm-Schrittstufe sowie einem berührungslosen optischen Oberflächenprofilometer und Höhensensor für 3D-Topographiemessungen ausgestattet. Contour GT-X8 bietet schnelle und hochpräzise Schritt- und Scanmessung von nanoskaligen kritischen Abmessungen (CD) auf Halbleiterbauelementen. Der hohe Durchsatz sorgt für eine effiziente Charakterisierung selbst komplexester Strukturen. BRUKER Contour GT-X8 verwendet eine Reihe fortschrittlicher Bildgebungs- und Messtechnologien, einschließlich Streuung, optische Interferenzmikroskopie, Terahertz-Spektroskopie und akustische Mikroskopie, um eine vollständige Charakterisierung der Gerätestrukturen zu ermöglichen. Verschiedene physikalische und elektrische Parameter können in situ gemessen werden, einschließlich Flächenwiderstand, Oberflächenebene, Dicke, Abscheiderate, Oberflächenrauhigkeit, Nanostrukturprofil und Materialzusammensetzung. Contour GT-X8 kann mit anderen Werkzeugen wie Atomkraftmikroskopie, Ellipsometrie und Nanoeinbuchtung integriert werden, um zusätzliche Charakterisierungsfähigkeiten zu bieten. Darüber hinaus kann die Einheit zur Datenanalyse und Visualisierung an einen Hochleistungsrechner angeschlossen werden. Die Maschine verfügt zudem über benutzerfreundliche Software zur automatisierten Einrichtung und Datenerfassung. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht genaue Parametereinstellungen und erweiterte Datenverwaltung. Die erweiterten Analysefunktionen des Tools können zum Überprüfen und Vergleichen von Daten aus verschiedenen Scans verwendet werden, um die Datengenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Insgesamt bietet BRUKER Contour GT-X8 eine vollständig integrierte Plattform zur zuverlässigen, genauen und zerstörungsfreien Charakterisierung von Nanostrukturen. Die fortschrittlichen Fähigkeiten der Anlage zur Bildgebung, Messung und Analyse nanoskaliger Strukturen machen sie zu einem wesentlichen Werkzeug für Forschung und Entwicklung in der Halbleiterindustrie.
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