Gebraucht CAMECA Lexfab 300 #293616123 zu verkaufen

ID: 293616123
Shallow probe metrology system BROOKS AUTOMATION Magnatran 7, P/N: 003-1600-29 VARIAN Turbo-V 81-AG VAT 02112-BA24-BBJ1.
CAMECA Lexfab 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung der physikalischen und chemischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Dieses System wurde entwickelt, um Wafer-Testergebnisse mit einer hohen Genauigkeit zu liefern und gleichzeitig eine hervorragende Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Gerät verwendet eine kapazitiv gekoppelte Plasmaquelle (CCP), die in der Lage ist, bis zu 300mm ² Wafer zu scannen, wodurch sichergestellt ist, dass sie mit dem schnellen Tempo der heutigen, schnell voranschreitenden Halbleiterindustrie Schritt halten kann. Es enthält auch ein Dreiwellenlängenspektrometer mit variablem Druck, das in der Lage ist, die atomaren Elemente auf der Oberfläche des Wafers anhand von Informationen aus drei verschiedenen Wellenlängen zu analysieren. Diese Daten werden dann in benutzerfreundlichen grafischen Berichten angezeigt, die eine schnelle Analyse und Interpretation der Ergebnisse ermöglichen. Neben der CCP-Quelle und dem Tri-Wavelength Spectrometer verfügt die Maschine auch über ein Wet-Etch Cathodoluminescence (WECL) -Werkzeug. Diese Anlage erzeugt intensives blaues Licht, wenn der beschichtete Wafer einer hohen elektrischen Ladung ausgesetzt ist und hilft, Fehler auf der Oberfläche zu identifizieren. Das Modell umfasst auch eine naßchemische Ätzstation, die die Entfernung von metallischen Verunreinigungen oder anderen Oberflächenverunreinigungen ermöglicht. Das Gerät kann auch zur spektralen Abbildung und Kartierung von Wafern verwendet werden, was wiederum die Identifizierung lokalisierter Kontaminationsbereiche ermöglicht. Das Bild wird dann erfasst und in verschiedenen Formaten angezeigt, sodass die Benutzer Kontaminanten genau untersuchen können. Das System ist zudem sehr modular aufgebaut und ermöglicht die Überwachung und Steuerung verschiedener Parameter wie Druck, Temperatur und Energie, die der Plasmaquelle zugeführt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät schnell und effizient wiederholbare Testergebnisse erzielen kann. Insgesamt ist CAMECA LEXFAB300 eine ausgezeichnete Maschine zum Testen, Messen und Analysieren von Halbleiterscheiben. Es verfügt über eine Reihe von leistungsstarken Tools und Funktionen, die Benutzern die Möglichkeit geben, schnell genaue Ergebnisse aus ihrem Wafer-Testprogramm zu erhalten. Darüber hinaus sorgt seine Modularität dafür, dass das Werkzeug einfach an die Bedürfnisse eines bestimmten Testprogramms angepasst werden kann.
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