Gebraucht CAMECA Lexfab 300 #293637179 zu verkaufen
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ID: 293637179
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Shallow probe metrology system. 12"
Chamber
(2) Loadports
2011 vintage.
CAMECA Lexfab 300 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zur Messung der Leistung integrierter Schaltungen und anderer Dünnschichtschichten in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen des 3D-Halbleitermesstechnik-Marktes zu erfüllen und ermöglicht höchste Genauigkeit und Präzisionsmessungen. CAMECA LEXFAB300 ist mit einem hochpräzisen optischen Messsystem ausgestattet, das einen hochmotorisierten, laserbasierten Autofokus verwendet und extrem genaue berührungslose 3D-Messungen ermöglicht. Dazu gehören erstklassige Messungen kritischer Prozessparameter wie: Profil, Atomkraft, wichtige kritische Dimensionen (CD), Linienbreite, kritischer Winkel, Neigung und Restspannung. Darüber hinaus kann sie auch die Oberflächentopographie von Dünnschichtschichten auswerten, um die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit des Halbleiterbauelements genau zu messen. LEXFAB-300 verwendet fortschrittliche optische Technologie und automatisierte Systeme, um eine überlegene Bildqualität und Messgenauigkeit zu erreichen. Es enthält eine dreidimensionale Mehrstrahl-Scan-Funktion, die Flexibilität bietet, verschiedene Teile eines Wafers zu scannen, um auch die kleinsten Formatgrößen zu messen. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden CCD-Bildaufnahme- und -verarbeitungsmaschine ausgestattet, die Messungen der Sub-Mikron-Genauigkeit bis in den Sub-Millimeter-Maßstab ermöglicht. Lexfab 300 bietet auch eine breite Palette von Softwareoptionen, einschließlich einer umfangreichen Bibliothek mit Rezepten und Programmen, um die Programmierung zu vereinfachen und die Einrichtungszeit zu reduzieren. Es ist mit effizienter Automatisierung und einer benutzerfreundlichen Softwareschnittstelle konzipiert, wodurch das Tool intuitiv und einfach zu bedienen ist. Das Asset bietet darüber hinaus eine Reihe von Optionen für vorausschauende Wartung und Qualitätskontrolle, mit denen Anwender Prozessrisiken bewerten und die Produktqualität und -zuverlässigkeit priorisieren können. LEXFAB300 ist ein anspruchsvolles, hochmodernes Wafer-Prüf- und Metrologiemodell, das hohe Genauigkeit und Präzisionsmessungen liefert. Seine fortschrittliche optische Technologie und Funktionen bieten überlegene Bildqualität, automatisierte Probenverarbeitung und eine Reihe von vorhersagenden Wartungs- und Qualitätskontrolloptionen, um die Effizienz von Wafertests und Geräteleistungen zu verbessern.
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