Gebraucht CAMECA Lexfab 300 #293639185 zu verkaufen
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ID: 293639185
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Shallow probe metrology system, 12"
2010 vintage.
CAMECA Lexfab 300 ist eine leistungsstarke multimodale Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das verschiedene Messungen von der Atomkraftmikroskopie (AFM) bis zur optischen Spektroskopie durchführen kann. Das System ist eine Doppelkammerstruktur, wobei die obere Kammer als AFM zur Bildgebung, Kraftspektroskopie und anderen Betriebstechniken dient, während die untere Kammer als Spektroskopiekammer zur optischen Messung dient. Der AFM selbst ist mit einem geschlossenen Scanner ausgestattet, der eine Auflösung von 1 Nanometer und Abtastraten von bis zu 100Hz erreichen kann. Die Spektroskopiekammer ist mit einem Spektrometer und mehreren Beleuchtungsquellen ausgestattet, die Messungen wie Reflexion, Durchlässigkeit und Fluoreszenz ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine, die eine einfache und schnelle Übertragung von Wafern in den beiden Kammern ermöglicht. CAMECA LEXFAB300 ist in der Lage, eine Vielzahl von Messungen durchzuführen, was es zu einem flexiblen Werkzeug in Forschung und Entwicklung macht. Es kann Bilder einer Oberfläche unter verschiedenen Bedingungen erzeugen, Materialeigenschaften wie mechanische Steifigkeit und Haftung messen sowie eine optische Analyse von Oberflächen durchführen. Es kann verwendet werden, um Materialien wie Halbleiter, Metalle, Polymere und Salze zu charakterisieren. Das Werkzeug ist auch in der Lage, Daten von mehreren Wafern gleichzeitig zu sammeln, so dass es ein nützliches Werkzeug für die Qualitätssicherung und Prozesskontrolle. Es kann für Anwendungen wie Überlagerungsmessungen, Fehleruntersuchungen, Oberflächenebenheitsprüfung und die Messung der Auswirkungen von Prozessparametern verwendet werden. LEXFAB-300 ist ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung und Messtechnik von Halbleiterbauelementen. Es wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Genauigkeit zu maximieren, was es zu einer optimalen Wahl für Forschung, Entwicklung und Prozesskontrolle macht.
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