Gebraucht CANDELA OSA 5100 #293809915 zu verkaufen

ID: 293809915
Optical surface analyzer.
CANDELA OSA 5100 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine integrierte Lösung zur Messung und Analyse von Halbleiterbauelementen und deren zugehörigen Strukturen. Dieses System wurde entwickelt, um Halbleiterprozesstechnik zu ermöglichen, die heutigen industriellen Anforderungen an Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erfüllen und gleichzeitig höchste Präzision und Genauigkeit zu erfüllen. Das Gerät verwendet ein Scanning Acoustic Microscope (SAM), um hochauflösende akustische Bilder von Proben mit einer einzigen Frequenz von 10 MHz zu erzeugen. Das akustische Bild wird dann über ein proprietäres Softwarepaket weiterverarbeitet, um kleine Fehler und andere strukturbezogene Datensätze zu identifizieren. Die Einheit ist auch in der Lage, sehr feine elektrische Eigenschaften aus der Probe zu gewinnen, indem ein Rasterkapazitätsmikroskop (SCM) und ein Rasterspannungsmikroskop (SVM) integriert werden. Die Anilox™ Interferometrie-Software ermöglicht Messungen des Brechungsindex (IOR) und andere Formen der Wellenausbreitung zur Messung der Filmdicke. Diese Kombination von Software- und Hardware-Tools ermöglicht eine schnelle und genaue Bestimmung der Oberflächentopologie und der elektrischen Eigenschaften auf Submikron-Ebene. Darüber hinaus ist die Maschine auch in der Lage, Restspannungen in dünnen Folien zu messen, einem Schlüsselparameter in moderner Gerätekonfiguration. OSA 5100 verfügt über mehrere Funktionen, die es für den Einsatz in einer Wafer-Test- und Messtechnik-Umgebung sehr geeignet machen. Erstens verfügt es über einen stark wiederholbaren, gestapelten Punkt-Injektionslaser (LPI), der mit einem Pixel-Array-Detektor ausgestattet ist, der eine Mehrkanal-Partikelspektroskopie mit einer Tiefenauflösung bis 100 pm ermöglicht. Diese Kombination aus LPI und Partikelspektroskopie ermöglicht schnelle, genaue Strukturmessungen auf der Nanoskala. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug auch über ein Multi-spectral Photocurrent Microscope (MPM) zur Messung photoinduzierter Ströme von einzelnen Geräteschaltungen. Darüber hinaus integriert das Asset eine robuste optische Messtechnik-Suite, die die Messung kritischer Dimensionen (CDs) und Über- und Unterätzbereiche ermöglicht. Das Modell ermöglicht auch die gleichzeitige Erfassung von Daten von mehreren Stellen auf einem Wafer, was einen größeren Durchsatz ermöglicht. Schließlich ist CANDELA OSA 5100 auch in der Lage, die oben genannten Fähigkeiten mit einem vollautomatischen Sequenzkontrollwerkzeug zu kombinieren, um großflächige Test- und Messtechnik-Projekte zu erleichtern. Zusammenfassend ist OSA 5100 Wafer Testing and Metrology Equipment ein integriertes System, das Messungen und Analysen mit beispielloser Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Diese Einheit ist eine ideale Lösung für alle, die die Grenzen der Halbleiterprozesstechnik verschieben und eine optimale Bauelementcharakterisierung erreichen möchten.
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