Gebraucht CENSOR ANS 500 #9251757 zu verkaufen

CENSOR ANS 500
ID: 9251757
Wafergröße: 12"
Surface inspection system, 12" Cassette to cassette.
CENSOR ANS 500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion von Halbleiterscheiben und anderen dünnen Oberflächen. Das System verwendet fortschrittliche Bildgebungstechniken, um die Struktur und die kritischen Merkmale von Wafern abzubilden und hochpräzise Analysen und Messungen bereitzustellen. Die ANS 500-Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem Halbleiterwaferhalter, einer hochauflösenden CCD-Kamera, einem chromatischen konfokalen Mikroskop, einem Spektrometer und einer Spektrometer-Steuereinheit. Der Waferhalter kann auf verschiedene Waferdicken von etwa 0,25 bis 8,0 mm eingestellt werden. Die CCD-Kamera kann großflächige zweidimensionale Bilder des Wafers mit einer maximalen Auflösung von 2880 x 2160 Pixeln aufnehmen. Das chromatische konfokale Mikroskop verarbeitet diese Bilder, um hochauflösende Bilder der Oberflächenmerkmale des Wafers zu liefern, einschließlich Linienbreiten, Gatelänge und Profilform. Die Spektrometerkomponente der CENSOR ANS 500 Maschine misst die Frequenz und Amplitude der Amplituden des vom Wafer emittierten oder reflektierten Lichts. Diese Messung kann dazu beitragen, Fehler wie ungleichmäßige Dicken oder Inkonsistenzen im Schichtaufbau zu erkennen. Die Spektrometer-Steuereinheit verarbeitet die Spektrometer-Messungen, um Daten über Partikelgröße, Partikelausrichtung, chemische Zusammensetzung und thermische Gleichmäßigkeit des Wafers zu liefern. Neben der Bildgebung, ANS 500 Werkzeug kann eine Reihe von anderen Tests durchführen. Diese Tests umfassen die Prüfung auf elektrostatische Entladung (ESD), chemische Zusammensetzung und elektrische Eigenschaften. Das Asset kann auch verwendet werden, um Fehler oder Anomalien auf dem Wafer zu identifizieren und Konturkarten von Oberflächenfehlern zu erzeugen. CENSOR ANS 500 Modell bietet eine vollständige Palette von Wafer-Tests und messtechnischen Fähigkeiten. Durch die Kombination von Bildgebung, Messung und Prüfung bietet es präzise und zuverlässige Ergebnisse mit minimalen Störungen des Produktionsprozesses. Die Geräte sind mit einer Vielzahl von Wafern kompatibel und können an Geräte der nächsten Generation mit fortschrittlicher Designkomplexität angepasst werden.
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