Gebraucht CHAPMAN MP2000+ #9361806 zu verkaufen
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CHAPMAN MP2000 + ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung. Es wurde entwickelt, um Submikron-Merkmale auf Wafern genau zu messen und zu charakterisieren sowie eine Vielzahl anderer wesentlicher Messungen und Tests bereitzustellen. Das System ist vollautomatisiert und integriert hochmoderne Bildgebungs-, Messtechnik- und Probenhandhabungssysteme. Die hochpräzise fortgeschrittene Bewegungsplattform kann auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Photomasken und Wafern, schnell und präzise Minutenmerkmale charakterisieren. MP2000 + verwendet eine 4-Achsen-Positionierstufe, um die Messkoordinaten schnell und genau über der Oberseite des Wafers zu positionieren. Diese Antriebseinheit wird von einer geometrischen und überlagerten Gitterwaage angetrieben, die eine extrem genaue Ausrichtung und Positionierung des Wafers für jede einzelne Messung ermöglicht. Laser-Interferometer werden verwendet, um eine genaue Positionsrückmeldung und Bremskorrektur für die XYZ-Positionierstufenmaschine bereitzustellen, die eine Auflösung von Submikron und Wiederholbarkeit für jeden Test ermöglicht. Das Tool enthält außerdem ein hochauflösendes Mikroskop-Bildmaterial, mit dem der Benutzer die Funktionen auf dem Wafer in Echtzeit visualisieren kann und einen detaillierten Blick auf das Layout und die Struktur des Wafers bietet. Die CCD-Kamera des Mikroskops erkennt Licht von der Waferoberfläche und zeigt das Bild auf dem Monitor zur sofortigen Betrachtung und Manipulation an. Darüber hinaus verfügt CHAPMAN MP2000 + über ein leistungsstarkes 20W Laserinterferometer zum Messen, Nähen und Messen von Mikrostrukturen. Dieses leistungsstarke Detektionsmodell sorgt für höchste Genauigkeit für jeden Test und ermöglicht die Submikron-Erkennung und Analyse von Merkmalen auf dem Wafer. Darüber hinaus ermöglicht die eingebaute 20W-Laseranregungsausrüstung dem Benutzer, zusätzliche Oberflächenmerkmale wie Beulen, Kratzer oder Korrosion zu erkennen und zu messen. Schließlich verfügt das System über eine schnelle Datenerfassung und -verarbeitung mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche und integrierten Analysetools. Dies liefert dem Anwender sofortige Ergebnisse, die eine detaillierte Prozesssteuerung und Echtzeiteinblicke in die Waferleistung ermöglichen. Zusammenfassend ist MP2000 + eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es integriert fortschrittliche Bewegungs-, Bildgebungs-, Messtechnik- und Probenhandhabungstechnologien für die präzisesten Wafermessungen. Die Laseranregungs- und Interferometersysteme bieten beispiellose Genauigkeit und Auflösung, während die Datenerfassung und die grafische Benutzeroberfläche sofortige Testergebnisse und Echtzeit-Prozesskontrolle ermöglichen.
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