Gebraucht CYBEROPTICS EX-43Q #9079803 zu verkaufen
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ID: 9079803
Wafer mapping sensor
Dual wide beam
Optimum detecting distance: 1.5"
Maximum detecting range: 1.4" - 1.6"
Voltage: 9 24 V DC
Current consumption: 130 mA, 200 mA max
Light source:
(2) 850 nm Diode lasers
(2) 0.6 mW max, 0.77 mW max
Laser class: Class 1 (CDRH)
Detectable objects: Transparent, opaque and mirrored surfaced objects
Laser spot size: 10 mm x 0.05 mm
Working angle: ±16°
Response time: 400 us max
Minimum pulse width: 5 msec
Indicator:
Laser power (Red)
Signal out (Green)
Control output: MOSFET Open drain, low true, 80 mA max at 24 V DC
Connections: 16", (4) Conductor cables
Temperature limits:
Operating: 0° to 40°C
Storage: -30° to 55°C.
CYBEROPTICS EX-43Q ist eine berührungslose optische Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hochgenaue dimensionale und topographische Profilierung für Wafer bis zu drei Zoll Durchmesser bietet. Dieses System kombiniert fortschrittliche Profilierungsalgorithmen mit einer Hochleistungs-Laserdiode, um schnelle, hochauflösende Messungen zu ermöglichen. EX-43Q ist zuverlässig und robust, so dass es ideal für automatisierte Sondierung und manuelle Tests. Das Gerät verwendet einen Faser-Bragg-Gitter (FBG) optischen Kopf mit einem 15mm Abstand vom Wafer und einer 90mm Brennweite für zusätzliche Tiefenschärfe. Dieser optische Kopf ist mit einer motorisierten XY-Stufe mit einem 470mm x 470mm Arbeitsraum, einem 200mm Hubbereich und einer Ausrichtungsgenauigkeit von 0,1 µm verbunden. Kombiniert sorgen diese Merkmale für robuste und konsistente Wafermessungen und eine hohe Wiederholbarkeit. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie schnell läuft und eine Scangeschwindigkeit von 5,25 m/s und eine maximale Beschleunigung von 1,3 m/s2 aufweist, während sie eine Genauigkeit von 3 µm voller Breite bei einem Halbmaximum (FWHM) über einen Bereich von Wafer-Ebenheit von 0,05 - 3,0 mm bietet. Darüber hinaus bietet CYBEROPTICS EX-43Q Datenansicht und -aufzeichnung, wobei Bilddaten in grafischen Formaten wie JPG- und TIFF-Dateien gespeichert sind. Das Werkzeug erfordert minimale Wartung oder Eingriff, so dass es gut für erweiterte Produktionsumgebungen geeignet. EX-43Q ist hochgradig konfigurierbar und kann in mehreren Einstellungen verwendet werden, mit zusätzlichen Optionen wie einem servomotorischen Prüfkopf und automatischem Wafer-Erfassungszubehör. Insgesamt liefert CYBEROPTICS EX-43Q Wafer-Test- und Messtechnik zuverlässige, genaue Ergebnisse auf effiziente und kostengünstige Weise. Sein luftunterstütztes berührungsloses Design reduziert den Verschleiß von Proben, während seine Erweiterbarkeit und Konfigurierbarkeit es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von automatisierten und manuellen Testszenarien machen.
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