Gebraucht DNS / DAINIPPON VM-2010 #9158763 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON VM-2010
ID: 9158763
Wafergröße: 8"
Thickness measurement system, 8".
DNS/DAINIPPON VM-2010 ist ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug, das für überlegene Präzision und Genauigkeit bei der Messung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es bietet eine komplett automatisierte Lösung für Hochgeschwindigkeits-Mustermessungen, die einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Genauigkeit garantiert. Die Einheit besteht aus mehreren individuell kalibrierten Modulen, die jeweils mit einem spezifischen Messvorgang beauftragt sind: Messtechnik, Messaufnehmer und Wafertransport. Das vollautomatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-System führt zunächst Messungen durch seine dreidimensionale (3D) Abtastsonde mit Laserstrahl zur Charakterisierung durch. Anschließend bewegt sie die zu vermessende Probe zum Düsenaufnahmemodul, um die Düsen aufzunehmen und am Waferträger zu befestigen. Schließlich transportiert sie die zu bearbeitende Probe zur Metrologieeinheit. Diese Metrologieeinheit wertet die Signalinformationen auf dem Wafer auf Ebenheit und Defekte aus. Alle diese Module sind vollautomatisiert für den Bedienkomfort und sind in der Lage, präzise Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Die Ausrüstung ist äußerst agil und robust ausgelegt, so dass sich der Anwender schnell an sich ändernde Bedingungen anpassen kann. Die Modularität des Systems ermöglicht es, eine Vielzahl von Messungen, wie Mikrolithographie-Inspektion oder Fehlerinspektion, einfach unterzubringen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, schnelle und zuverlässige Messungen zu liefern, ohne die Integrität des Produkts zu stören, was bedeutet, dass es auch für Messungen auf verschiedenen Substraten verwendet werden kann, einschließlich derjenigen, die empfindlich oder verzerrungsanfällig sind. Das Gerät läuft unter Windows XP und bietet umfangreiche Funktionen wie benutzerfreundliche grafische Schnittstellen, Pumpen-Filament-Modus für mehrere Messungen, breite Anwendbarkeit, schnelle Software-Upgrades und Konnektivität über verschiedene Schnittstellen. Die Maschine bietet eine umfassende und flexible Palette von Optionen, um alle Anforderungen der Halbleiterscheibenprüfung und Messtechnik abzudecken. Darüber hinaus ist das Tool in der Lage, extrem hohe Werkzeugauflösung und Genauigkeit dank der proprietären „Active Motivation Technology“, die aktiv reduziert Rauschen beim Scannen und Binarisieren von Daten. Diese Technologie ermöglicht auch eine erhöhte Sondierempfindlichkeit und Wiederholbarkeit, wodurch sehr hohe Ausbeuten in Wafertest- und messtechnischen Anwendungen erzielt werden können. Insgesamt ist DNS VM-2010 ein hochentwickeltes und präzisionsorientiertes Werkzeug, das eine All-in-One-automatisierte Lösung für verschiedene Arten von Wafertests und messtechnischen Anforderungen bietet. Die fortschrittliche 3D-Scan-Sonde und die aktive Motivationstechnologie ermöglichen schnelle, hochpräzise Messungen mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und sind somit eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für verschiedene Prüf- und Messprozesse.
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