Gebraucht EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233 zu verkaufen
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ID: 9000233
Wafergröße: 2"-4"
Weinlese: 2010
Photoluminescence mapping metrology system, 2"-4"
Manual PL for use with blue and UV LEDs
Currently set up for 2" wafers and can run 4" as well
This is a combination of the EpiPlus and EtoMax hardware/software and running as an EtoMax Platom manual loading system
System operates in dual mode measuring both PL and thickness at the same time
System measures PL(Blue), PL (UV), PL + RF and RF
Software allows for custom susceptor design to display result per wafer loaded pockets
Comes with Plato User Guide & Pl + M100 Operation Manual
2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX PL + M100 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die modernste Lösungen für fortschrittliche Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Es ist mit einem laserbasierten optischen Messsystem ausgestattet, das in der Lage ist, einen weiten Bereich von Parametersätzen zu messen, von Oberflächenstruktureigenschaften, Tiefe und Höhe von Merkmalen bis hin zu dreidimensionalen elektrischen Messungen von Tiefe, elektrischem Feld und Dotierungskonzentration von Geräten. Die einzigartige 8-Achsen-Einheit von ETAMAX ermöglicht es Benutzern, kontaktlose Messungen von Merkmalen durchzuführen, die mit herkömmlichen Werkzeugen nicht erreichbar wären. Der hochauflösende optische Kopf erreicht eine ausgezeichnete Genauigkeit in Bezug auf Merkmalsgröße und Profilmessung. Die Maschine ist auch in der Lage, einen Bereich von Parametern wie Linienbreite, kritische Dimension, Überlagerungsfehler und Seitenwandwinkel zu messen. Das Tool verfügt auch über eine integrierte Software-Suite, die eine Reihe von leistungsstarken Funktionen bietet, einschließlich Autofokus, OCR (Optical Character Recognition) für Zeichenerkennung und optische Scan-Umkehr, so dass Benutzer kritische Geräte und Trace-Linien leicht messen können. Die Software ist auch in der Lage, hochpräzise Messungen durchzuführen, um eine präzise Steuerung von kritischen Dimensionen, Ausrichtungs- und Überlagerungsfehlern zu gewährleisten, um den Ertrag zu erhöhen. ETAMAX PL + M100 ist speziell für eine einfache Bedienung konzipiert, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, das Asset auch bei ungeschulten Mitarbeitern schnell zu bedienen. Es kann auch verwendet werden, um eine Reihe von Anwendungen durchzuführen, einschließlich Wafer-Sondierung, Fehlererkennung und Foto-Resist-Dickenmessungen. Abschließend ist EPIPLUS PL + M100 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiteranwendungen. Das einzigartige 8-Achsen-Modell und die integrierte Software-Suite machen es zu einer perfekten Lösung für professionelle Tests und messtechnische Anforderungen. Seine Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit stellen sicher, dass die Geräte von Benutzern aller Kompetenzstufen verwendet werden können.
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