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ETAMAX Unimap ist eine vollautomatische Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Ihrem Unternehmen dabei hilft, die branchenweiten Anforderungen an zuverlässige Wafertests und Messtechnik zu erfüllen. Die innovative Technologie von Unimap wurde entwickelt, um maximale Produktivität und Flexibilität zu bieten und gleichzeitig eine unübertroffene Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu erreichen. Mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafertypen und -funktionen zu messen, bietet ETAMAX Unimap sowohl Produktivität als auch Präzision in einem einzigen System. Unimap-Einheit basiert auf einem modularen Konzept, das wesentliche Funktionalität und Aufrüstbarkeit ermöglicht. Die Standardmaschine besteht aus dem Großrechner, einem Wafer-Handler und Bühnenmodul, einem Ausrichtkopfmodul und dem Messkopfmodul. Zur Messung von Dünnschichtgeräten unterstützt das Werkzeug acht Proberköpfe, acht optische Module sowie fünf elektrische Probingmodule. Optionale Komponenten sind Laserinterferometer, mechanische Stufen, fortschrittliche optische Systeme und Fehlerüberprüfungssysteme. Dieses Asset ist so konzipiert, dass es möglichst effiziente und präzise Messungen liefert und von einem fortschrittlichen Softwarepaket gesteuert wird. ETAMAX Unimap Software-Paket läuft unter Windows NT/2000 und ist benutzerfreundlich mit seinen anpassbaren Menüs und hilfreiche Tutorials. Dieses intuitive Programm vereint grafische, taktile und Textinformationen zu einer visuellen Benutzeroberfläche und vereinfacht die Einrichtung von Messprogrammen, um die Gesamtzeit zu reduzieren und die Genauigkeit zu verbessern. Beim Betrieb bietet Unimap hervorragende Wiederholbarkeit und Wiederholkapazität. Die fortschrittlichen mechanischen Stufen sorgen für genaue und wiederholbare Ausrichtungen zu den kompliziertesten Merkmalen auf einem Wafer. Die Kombination dieser Stufen mit den Fähigkeiten der optischen und elektrischen Sondierung setzt ETAMAX Unimap Gerät abgesehen von seinen Konkurrenten. Das Modell bietet auch eine umfassende messtechnische Analyse, mit der Anwender eine Vielzahl von Parametern von kritischen Dimensionen (CD) bis zum Overlay und zahlreiche andere Parameter messen können. Unimap hebt sich von seinen Wettbewerbern bei der Bereitstellung automatisierter Funktionen zur Fehlerüberprüfung und Mustersortierung ab. Diese Eigenschaften reduzieren die Zeit für die vollständige Wafer-Produktionsprüfung, so dass der gesamte Prozess schneller mit weniger Handarbeit durchgeführt werden kann. Darüber hinaus ist ETAMAX Unimap sehr anpassungsfähig an Veränderungen des Produktionsbedarfs. Durch Hinzufügen oder Subtrahieren von Probern, optischen und elektrischen Sondierungsmodulen kann das Gerät schnell und einfach aktualisiert oder modifiziert werden. Insgesamt bietet Unimap den höchsten Standard an Wafertests und Messtechnik und wird die Erwartungen der Kunden an Präzision und Produktivität übertreffen. Mit seiner Flexibilität und überlegenen Genauigkeit ist dieses System eine ausgezeichnete Wahl für Unternehmen, die zuverlässige Testlösungen benötigen.
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