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FEI DA300
ID: 9257394
Defect analyzer.
FEI DA300 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die integrierte Technologien verwendet, um Effizienz, Genauigkeit und Produktivität zu erhöhen und gleichzeitig Kosten und Zykluszeit zu reduzieren. Das System wurde entwickelt, um bis zu 300mm-Wafer mit seinen fortschrittlichen Sensoren, Analysatoren und Inspektionssystemen zu testen. Mit seiner Präzisionsoptik liefert DA300 präzise und wiederholbare Ergebnisse über eine breite Palette von Wafern und Gerätetypen. FEI DA300 verwendet eine integrierte optische Inspektionseinheit, um verschiedene Anomalien auf der Waferoberfläche zu erkennen, wie Mikropipes, Anomalien, Partikel und Prozessanomalien. Es kann auch Materialzusammensetzung, Schichtzusammensetzung und Filmdicke identifizieren. Darüber hinaus kann es latente Defekte und versteckte Prozessfehler erkennen. Mit seinen hochauflösenden Bildgebungsfunktionen können DA300 zwischen verschiedenen Typen von Wafereigenschaften und Fehlern unterscheiden. Neben der optischen Inspektion verfügt FEI DA300 über eine Reihe weiterer Werkzeuge für Wafertests und messtechnische Zwecke. Seine berührungslosen Widerstands- und Kapazitätsmessungen ermöglichen genaue Parameter von elektrischen und HF-Geräten. Seine Weitwinkel-Streuungsmaschine misst nanoskalige kritische Abmessungen und Profile mikroelektronischer Strukturen sowie Bildungs- und Mustereigenschaften von Beschichtungen. Seine optischen und elektrischen Analysatoren ermöglichen eine eingehende Analyse der Geräteeigenschaften und können Fehler erkennen, die mit herkömmlichen Mikroskoptechniken schwer zu erkennen sind. DA300 wurde entwickelt, um Benutzern einen umfassenden Satz von Funktionen und Funktionen zur Verfügung zu stellen. Seine automatisierten Testroutinen reduzieren die Zeit und den Aufwand für Inspektionen und machen es zu einem idealen Werkzeug für effiziente und kostengünstige Wafertests und Messtechnik. Darüber hinaus unterstützt es eine Vielzahl von Schnittstellen- und Automatisierungsanforderungen und ist damit mit einer Vielzahl von Datenformaten kompatibel. Neben der Bereitstellung von datenreichem Reporting und On-Screen-Diagnostics zur detaillierten Analyse und Optimierung von Prozessen. FEI DA300 wafer testing and metrology tool ist eine hochentwickelte, schnelle und zuverlässige Lösung für wafer testing. Es ist ein vielseitiges und funktionsreiches Asset, das eine Reihe von Sensoren, Analysatoren und Inspektionstechnologien kombiniert, um effiziente und genaue Wafertests zu ermöglichen. In der Lage, detaillierte Daten auf einer Reihe von Geräten zu liefern, ist es ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen in einer Reihe von Gerätetypen.
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