Gebraucht FEI DA300 #9266820 zu verkaufen
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ID: 9266820
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Dual beam Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
Upgraded to SEM and FIB columns
Electron NG SEM SFEG Column
Sidewinder FIB Column: 20 nA
XYZRT Stage has been replaced
OMNIPROBE 200
BROOKS Dual front end, 12"
STEM Detector
Capacitance probe
TEM Sample unloader unit
Chiller
Pre-vacuum pump
Manual included
Operating system: Windows XP
2010 vintage.
FEI DA300 ist eine revolutionäre Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die den Anforderungen der fortschrittlichen Technologie-Knotenverarbeitung und Ertragsmanagement gerecht wird. Entwickelt von FEI Company, ist DA300 eine einheitliche Messtechnik-Plattform, die mehrere messtechnische Lösungen in einem System kombiniert. Dies ermöglicht den Anwendern maximale Flexibilität bei der Skalierung von einzelnen Waferlösungen bis hin zur serienmäßigen Wafer-Sondierung. FEI- DA300-Einheit bietet hohen Durchsatz und kompromisslose Genauigkeit für die Inspektion und Überprüfung der Leistung von Eingangs-, Eingangs- und Ausgangswafern und -geräten. Seine fortschrittlichen messtechnischen Fähigkeiten stammen aus der Kombination von FEI fortschrittliche optische Inspektion und verschiedene Charakterisierungslösungen. Die optische Inspektion liefert Submikron-Auflösungsbilder von oberflächen-, elektrischen und prozessbezogenen Messungen, während die verschiedenen Charakterisierungslösungen eine vollständige Charakterisierung von Widerstand und Kapazität, Leckstrom und Dielektrizitätskonstante bieten. Die Maschine ist auch in der Lage, hohe Geschwindigkeit, Einzeldüsen Sondierung. Das hochmoderne mechanische Design DA300 Plattform ist optimiert, um die Zykluszeit zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig die Kontrolle der Sondierungskraft zu behalten, um die Auswirkungen auf die Geräteleistung zu minimieren. Innovative AutoFocus-Technologie nutzt differentielle Optik, um eine schnelle und konsistente Fokussierung des Tastkopfes zu ermöglichen, was zu einer signifikanten Reduzierung der gesamten Rüstzeit führt. Um eine schnelle und einfache Hardware- und Softwaresteuerung zu ermöglichen, ist FEI DA300 mit einem automatisierten Roboterarm ausgestattet. Dieser Roboterarm ist computergesteuert und bietet eine schnelle und flexible Bewegung sowie eine Wafer-Greif- und Sondierkraftsteuerung. Das Tool kann mit optionalen Zusatzmodulen wie SEM/FIB, Raman und High-Resolution Critical Dimensions Measurement (HR-CDM) weiter angepasst werden. Die vollständige Integration mit der FEI Software Suite macht DA300 zu einer idealen Lösung für komplette messtechnische Anforderungen. FEI DA300 bietet überlegene Leistung und Genauigkeit, ohne die Flexibilität oder Langlebigkeit zu beeinträchtigen. Seine flexible Konfiguration bietet maximale Gestaltungsfreiheit und die Möglichkeit, sich leicht an sich ändernde Produktanforderungen anzupassen. Das robuste Design und die innovativen Funktionen der Plattform ermöglichen es dem Asset, jede Wafer-Anwendung zu bewältigen und so zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten.
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