Gebraucht FILMETRICS F20-UV #9205805 zu verkaufen

FILMETRICS F20-UV ist ein Waferinspektions- und Messgerät, das zur Durchführung zerstörungsfreier Oberflächenmessungen während des Herstellungsprozesses von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein vollautomatisches System, das 200mm und 300mm Wafer scannen kann und eine Scangeschwindigkeit von bis zu 200mm/sec bietet. FILMETRICS F 20 UV verwendet eine Kombination aus optischem und UV-sichtbarem Licht, um Wafer zu inspizieren. Im optischen Beleuchtungsmodus verwendet das Gerät Weißlicht und 3D-Messungen mit variablem Winkel, um Ebenheit, Waferoberflächenform und Oberflächenschritthöhe über den gesamten Wafer zu identifizieren. Im UV-sichtbaren Beleuchtungsmodus verwendet die Maschine ultraviolettes, blaues und infrarotes Licht, um kristalline Strukturgrenzflächen, Dicke, Filmrauheit und Brechungsindex bis zu einer Auflösung von 2 nm zu identifizieren. F20-UV verfügt auch über fortschrittliche Software für Wafer-Mapping, Fehlererkennung und optische Leistungsmessung. Die automatisierten Subtraktionswerkzeuge der Software ermöglichen genaue Oberflächenvergleiche und die Identifizierung lokalisierter Fehler am Wafer. Das Tool bietet auch schnelle Datenerfassung und -analyse, ohne dass ein Tuning erforderlich ist. Darüber hinaus umfasst F 20 UV fortschrittliche Metrologiewerkzeuge, einschließlich manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Kammerturbomolekularpumpen für genaue Konzentrationsmessungen. Das Asset integriert Datenanzeige- und Visualisierungstools für Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung. FILMETRICS F20-UV ist eine umfassende und kostengünstige Lösung, ideal für die Produktion von Wafern mit hohem Durchsatz. Es wurde entwickelt, um genaue und zuverlässige Ergebnisse zu liefern und ermöglicht eine effiziente Prozesskontrolle und Qualitätssicherung. Das Modell eignet sich perfekt für Labore und Fertigungsanlagen und bietet ein einfach zu bedienendes, intuitives und schnelles Inspektions- und Messgerät.