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FILMETRICS F20 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die vollständige, genaue und wiederholbare Messungen für eine Vielzahl optischer und elektrischer Komponenten, einschließlich integrierter Schaltungen und Photovoltaik-Geräte, liefert. Das System bietet die neuesten Fortschritte in der Wafer-Inspektion und Charakterisierung, so dass der Benutzer Wafer unterschiedlicher Geometrien, einschließlich gekrümmter und unregelmäßiger Formen, genau messen kann. FILMETRICS F 20 verfügt über fortschrittliche Beleuchtungs-, Bildgebungs- und Lückenfülllasertechnologien, die präzise und wiederholbare Messungen mit einer maximalen Wiederholbarkeit von 3 Nanometern ermöglichen. F20 beinhaltet einen optisch unempfindlichen Autofokus, der Messungen mit einer Fokusgenauigkeit von 1 Nanometer und einer Wiederholbarkeit von 3 Nanometern ermöglicht. Dies gibt Benutzern die Möglichkeit, Merkmale auf ihren Wafern bis zu einer Auflösung von drei Nanometern genau zu messen. F 20 bietet eine Vielzahl von Messfähigkeiten. Dazu gehören 1D- und 2D-Topographiemessungen, die es dem Anwender ermöglichen, Waferoberflächenprofile mit einer Auflösung von 0,1 Mikrometern zu analysieren. Zusätzlich bietet das Gerät eine Fehler- und Probencharakterisierung, die eine detaillierte Analyse von Defekten an Wafern im Bereich von 0,25 µm bis 5 µm ermöglicht. Dies bietet Anwendern die Möglichkeit, sehr zuverlässige Fehler- und Probencharakterisierung mit einer hohen Genauigkeit durchzuführen. FILMETRICS F20 ermöglicht extrem zuverlässige und wiederholbare Tests durch seine umfassenden Software-Tools. Die umfassende GUI bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche mit Funktionen wie integrierter Grafik, Dateneingabe/-ausgabe und Fernbedienung. Auf diese Weise können Benutzer ihre Testvorgänge einfach programmieren und steuern, sodass sie schnell die gewünschten Ergebnisse erzielen können. FILMETRICS F 20 kann mit einer Reihe von Zubehörteilen wie Umweltkammern und Wafer-Handling-Systemen integriert werden, um eine umfassende und hochautomatisierte Testplattform bereitzustellen. Diese Maschine ist für zuverlässige, konsistente und wiederholbare Tests ausgelegt und kann die Anforderungen einer Vielzahl von optischen und elektrischen Komponenten erfüllen.
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