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FILMETRICS F50R Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine hochentwickelte, Halbleiterausrüstung, die entwickelt wurde, um berührungslose, zerstörungsfreie Formatmessungen von Dünnschichtmustern auf Wafern auf Submikron-Ebene mit beeindruckender Genauigkeit durchzuführen. Es verwendet einen hochpräzisen, laserbasierten optischen Sensor, um schnelle Scans von gemessenen Waferoberflächen zu übernehmen und gleichzeitig Bewegungsfehler aufgrund unvollkommener Ebenheit und Waferkrümmung zu kompensieren. Die leistungsstarke motorisierte XYZ-Stufe sorgt zudem für eine stabile Plattform für konsistente Scans und verbessert so die Zuverlässigkeit der Ergebnisse. Die mitgelieferte Software FJX-Scan ist einfach zu bedienen und bietet umfassende Datenanalyse- und Berichtsfunktionen. Es wurde entwickelt, um KEs auf Wafern wie Linienbreite, Dicke, Topographie, Höhe und Neigungswinkel zu messen. Die kontrastreichen Bildverarbeitungsalgorithmen der Software ermöglichen auch genaue Dickenmessungen von mehrschichtigen Dünnschichten. Zusätzlich ist das System mit einer integrierten Kamera für Schnappschussbilder ausgestattet, die die Probenerkennung und Rückverfolgbarkeit unterstützt. Die Kernoptik der Einheit besteht aus einer halbleiterartigen Mikroskoplinse sowie einem einstellbaren Laserdiodenmodul, das sowohl in Wellenlänge als auch Leistung abstimmbar ist. Mit 120 mm Sichtfeld und schneller Scangeschwindigkeit (bis 44 μ m/s) ist F50R eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen mit hohem Durchsatz. Es verfügt über mehrere Vergrößerungseinstellungen, bis zu x50, ermöglicht eine erhöhte Genauigkeit der Messungen für industrielle Anwendungen, bei denen Präzision kritisch ist. Weitere bemerkenswerte Merkmale von FILMETRICS F50R sind die automatische Pixelgröße, integrierte 2D-Nähte und Algorithmen zur Spitzenerkennung. Viele der Funktionen der Maschine können über das mitgelieferte Frontplatten-Steuerpad gesteuert werden, während einige der fortschrittlicheren Funktionen, wie benutzerdefinierte Kalibrierdaten, über externe Geräte gesteuert werden können. Die Abmessung des Werkzeugs beträgt 335 x 389 x 309 mm, wodurch es kompakt und für viele verschiedene Arbeitsumgebungen geeignet ist. Insgesamt ist F50R eine umfassende, kostengünstige Lösung für genaue und effiziente Wafertests und Messtechnik. Dank seiner zuverlässigen Leistung, automatisierten Steuerungen und Datenberichtsfunktionen ist es eine gute Wahl für jede Industrie- oder Forschungsanwendung.
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