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FISCHER Betascope ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik von FISCHER Instruments. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Parametern im Zusammenhang mit Dünnschicht- und Wafermesstechnik zu messen und zu analysieren. Es bietet den Vorteil eines hochauflösenden optischen Interferometers und Lichtdetektors mit einer mittleren Messgenauigkeit von weniger als einem Nanometer. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Merkmalen auf der Waferoberfläche zu erkennen, einschließlich Schichtdicke, Oberflächenplanarität, KE-Geometrie und Verunreinigungen. Die Einheit verwendet fortschrittliche Algorithmen, um die Form und andere Merkmale auf der Waferoberfläche zu erkennen. Es verwendet auch verschiedene Beleuchtungsmethoden, wie Dunkelfeldbildgebung, Hellfeldbildgebung, Kontrastbildgebung und optische Sondierung. Die Maschine umfasst eine Lichtbeugungseinheit, mit der das Störmuster aus dem einfallenden Licht gemessen wird, um die Eigenschaften der Waferoberfläche zu messen. Das Tool umfasst Bildverarbeitungssoftware zur Bildverbesserung und automatisierten Analyse, die in Echtzeit durchgeführt werden kann. Betascope bietet auch eine breite Reihe von Metrologieoptionen, einschließlich des Nichtkontaktoberflächenschichtenmaßes, der kontaktlosen Formanalyse an, nichtkontaktieren Sie numerische Formanalyse und fortgeschrittene Die-Die-Oberflächeneigenschaftsmaße. Der Vermögenswert kann auch zur Charakterisierung dreidimensionaler Merkmale auf dem Wafer verwendet werden, um den Ertrag zu verbessern. Darüber hinaus umfasst das Modell eine leistungsstarke automatische visuelle Inspektionsausrüstung, um Fehler oder andere Oberflächenanomalien auf dem Wafer zu erkennen. Zum System gehört auch ein automatisiertes Wafer-Handling mit integriertem Roboterarm und Gyroskop. Dies ermöglicht es der Maschine, sich automatisch an einen beliebigen Punkt des Wafers zu bewegen, was eine präzise und wiederholbare Bewegungssteuerung beim Testen der Eigenschaften der Probe ermöglicht. Das FISCHER Betascope Tool bietet eine Vielzahl von Optionen zur Datenerfassung, -speicherung, -verarbeitung und -berichterstattung. Die Benutzeroberfläche des Objekts ist einfach zu bedienen und kann an die spezifischen Bedürfnisse jedes Kunden angepasst werden. Die gesammelten Daten können bei der Analyse, Optimierung und Qualitätskontrolle der physikalischen Eigenschaften und Leistungsfähigkeit des Wafers verwendet werden.
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