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FISCHER MP 0D
ID: 9086676
Coating thickness measurement system.
FISCHER MP 0D ist ein High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur messtechnischen Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Das System ist eine dreiachsige, motorisierte Plattform und unterstützt eine Reihe von Sonden für eine Vielzahl von messtechnischen Anwendungen. Das Gerät bietet eine breite Palette von messtechnischen und Testanwendungen, einschließlich Tonhöhe, CD, Topographie, messtechnische Musterung, Mikroskala-CD-Messungen, Overlay-Messungen, Dickenanalyse und eine Reihe von Fehlererkennungsverfahren. Der integrierte komplette Inspektions- und Messtechnik-Prozess trägt zur Qualitätssicherung in der Waferfertigung bei und trägt zur Verbesserung der gesamten Waferausbeute bei. MP 0D verwendet hochauflösende Bildgebungs- und intelligente Beleuchtungstechnologien, um präzise Messungen kritischer Abmessungen, Waferanalyse und Fehlererkennung durchzuführen. Die Maschine ist mit einem fortschrittlichen Navigationswerkzeug ausgestattet, das ein schnelles und genaues Scannen, Bearbeiten und Manipulieren der Analysedaten ermöglicht. Das fortschrittliche bildgebende Element liefert hochgenaue Scanergebnisse mit einer Auflösung von 10 nm und einer Genauigkeit von 1 nm. Das Modell bietet vollautomatische Bedienung und wurde entwickelt, um Workflows mit seiner Touchscreen-Schnittstelle zu vereinfachen. Seine erweiterten Suchfunktionen können Fehler in bestimmten Bereichen schnell und einfach identifizieren und zielen. Darüber hinaus bietet das Gerät eine intelligente Software-Suite mit einer Bibliothek fortschrittlicher analytischer Formeln, die die Ausführung komplizierter messtechnischer Operationen vereinfacht. FISCHER MP 0D bietet darüber hinaus erweiterte Berichtsfunktionen, um ein schnelles Feedback für Ingenieure, Hersteller und Qualitätssicherungsteams zu ermöglichen. Dieses Berichtssystem verwendet Standardberichte, benutzerdefinierte Berichte und prozessspezifische Berichte, um detaillierte Informationen über die Vereinbarung zwischen dem Prozess, den Wafern, dem Gerät und den Anforderungen des Kunden bereitzustellen. Die Maschine ermöglicht es Herstellern, Produktionsniveaus schnell zu beurteilen, defekte Wafer zu identifizieren, Muster zu identifizieren und Produktionsprozesse zu verbessern. Als weltweit führendes automatisiertes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool gibt MP 0D Herstellern die Werkzeuge, um zuverlässig und kostengünstig hochzuverlässige Wafer herzustellen.
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