Gebraucht FOUR DIMENSIONS 280SI #293642472 zu verkaufen

FOUR DIMENSIONS 280SI
ID: 293642472
Wafergröße: 8"
Four point probe station, 8" Sheet resistance Measurement: 1 mΩ/sq to 800 kΩ/sq Range: 8x 1011 W/sp.
FOUR DIMENSIONS 280SI (FD280SI) ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik von KLA-Tencor. Das FD280SI vereint eine Reihe von Analysatoren und Messtechnik-Tools, einschließlich Wafer-Level-Messtechnik, optische Inspektion, Fehlerüberprüfung und elektrische Tests, um eine vollständige Wafer-Level-Testabdeckung bereitzustellen. Das FD280SI wurde für Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll entwickelt und verfügt über ein ultraschnelles, vollautomatisches Musterübertragungssystem, das eine schnelle, genaue Sortierung und effiziente Probenhandhabung ermöglicht. Die fortschrittlichen Bildverarbeitungs- und Bewegungssteuerungsalgorithmen des FD280SI garantieren höchste Genauigkeit und ermöglichen konsistente und wiederholbare Messungen. Das Gerät enthält auch eine komplette Reihe von Bearbeitungswerkzeugen, um Umweltveränderungen zu kompensieren und die Leistung der Tester zu verbessern. Für die optische Fehlerinspektion und Überprüfung ermöglicht die Laser Opto-Stop motorisierte Wafer Inspektionsmaschine (LOWIS) des FD280SI eine hochauflösende Abbildung von Wafern mit einer minimalen Punktgröße von 80 Nanometer. Es bietet auch automatisierte Fehlerklassifizierung und Fehlerüberprüfungsdatenbanken, um die Datenanalyse zu erleichtern. Das FD280SI umfasst mehrere analoge, gemischte Signal- und Digital-Die-Tester (MSPDs), um die höchste Testabdeckung zu liefern. Diese Tester werden verwendet, um das elektrische Verhalten der Matrize zu beurteilen, einschließlich der Auswertung statischer Eigenschaften, Ströme, Spannungen und Leistungspegel. Die Tester verfügen auch über Dichtetests, die die Gleichmäßigkeit der Merkmale einer Matrize bewertet. Die MSPD-Tester bieten auch automatische statistische Analyse und Fehlerdatenbank Überprüfung, um Diagnose und Lösung von Problemen zu erleichtern. Schließlich verfügt das FD280SI über mehrere messtechnische Werkzeuge wie Streuung, Bildgebung und FOURIER-Transformationsspektroskopie (FTIR). Diese Werkzeuge werden verwendet, um die physikalischen Eigenschaften einer Probe zu bewerten, einschließlich Oberflächentopographie, Grenzflächenzustandsdichte, Kontaktwiderstand und Konturabbildung. Die Metrologiewerkzeuge des FD280SI können auch zur Bewertung der Auswirkungen von Fertigungs- und Ertragsänderungen verwendet werden, was eine effiziente Produktoptimierung ermöglicht. Zusammenfassend ist 280SI (FD280SI) ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologie-Tool, das entwickelt wurde, um eine vollständige Wafer-Level-Testabdeckung für eine Vielzahl von Aufgaben bereitzustellen. Dieses Asset umfasst mehrere Tester, Bildverarbeitungs- und Bewegungssteuerungsalgorithmen sowie eine Reihe von Metrologie-Tools, mit denen Benutzer die Geräteleistung messen, diagnostizieren und optimieren können.
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