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FOUR DIMENSIONS CV92-A ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die spektroskopische Ellipsometrie (SE) für die fortschrittliche 3D-Messtechnik von Oberflächen und Materialien verwendet. Das System kombiniert drei Achsen, um einen 4D-Vektor von Eulerwinkeln (Roll, Pitch und Gierwinkel) während des Scans zu messen. Dieser 4D-Vektor bietet eine hochgenaue Messung der Oberflächentopographie und anderer Materialeigenschaften. VIER DIMENSIONEN CV92A Modul ermöglicht es Benutzern, Waferabmessungen wie Dicke, Widerstand, Oberflächenrauhigkeit und optische Dispersionseigenschaften zu messen. Es verfügt über vier optische Sensorkanäle - zwei für die Bildgebung, einer für die Spektroskopie und einer für die Polarimetrie. Diese werden von einem 8-Megapixel-CMOS-Sensor, einer Hochleistungs-LED-Lichtquelle und einer breitbandigen UV-Lichtquelle angetrieben. CV- 92A beinhaltet auch eine automatisierte Fokuskorrektur und eine hochpräzise z-Achsen-Steuerung für Scanabstände bis 815 mm. Auch automatisierte Musteraustausch- und Musterbehandlungssysteme sind zur Steigerung der Testeffizienz enthalten. CV92-A ist für den Einsatz in der Halbleiter- und FPD-Industrie (Flachbildschirm) sowie für eine Reihe von Märkten wie Medizinprodukte, Forschung und Solarzellenfertigung konzipiert. Durch den Einsatz der SE-Technologie ist es nicht nur in der Lage, lokale Geometrien von Proben genau zu messen, sondern auch spezifische 3D-Informationen über Materialeigenschaften wie elektrische Permittivität, optische Anisotropie und chemische Zusammensetzung. Das Gerät entspricht SEMI-P38 und SEMI-M1 Standards und kann durch eine Auswahl proprietärer Softwarepakete in der anspruchsvollen Datenanalyse eingesetzt werden. Mit diesen Paketen können Benutzer komplexe Datensätze schnell erfassen und analysieren. Um zuverlässige Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, ist FOUR DIMENSIONS CV 92A mit automatischen Kalibrier- und Ausrichtungsfunktionen ausgestattet. Es verfügt über mehrere Stufen der Temperaturregelung, bietet thermische Stabilität und Genauigkeit und ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Wafergrößen zu arbeiten. Die Maschine umfasst auch intuitive Benutzeroberflächen und umfassende Berichtsfunktionen, sodass Benutzer Daten schnell interpretieren und Ergebnisse anzeigen können. CV92A ist ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiewerkzeug für Industrien wie die Halbleiter- und FPD-Industrie, das mehrere hohe Spezifikationsmerkmale für genaue Messungen der Oberflächentopographie, des Widerstandes, der Oberflächenrauheit und der optischen Dispersion kombiniert. Darüber hinaus ermöglichen die benutzerfreundlichen Funktionen und benutzerdefinierte Softwarepakete eine komplexe Datenerfassung und -analyse.
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