Gebraucht FOUR PROBES TECH RTS-8 #293624729 zu verkaufen
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ID: 293624729
Weinlese: 2016
Resistivity measurement system
4-Point probe
Resistivity: 10^-5 - 10^5 Ωcm
Rectangular wafer resistance: 10^-4 - 10^6 Ω
Conductivity: 10^-5 - 10^5 s/cm
Poly diameter:
Type S-2A: 140 mm X 150 mm
Type S-2B: 200 mm X 200 mm
Type S-2C: 400 mm X 500 mm
2016 vintage.
FOUR PROBES TECH RTS-8 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die sowohl für horizontale als auch vertikale Wafertests in Halbleiter- und anderen verwandten Industrien entwickelt wurde. Das System ist mit vier Sonden ausgestattet, die eine Vielzahl von Messungen ermöglichen, einschließlich Schichtdickenmessungen, Kontaktwiderstandstests, Oberflächenmorphologieanalysen, Materialzusammensetzungsanalysen, Geräteleckstrommessungen usw. Es bietet auch eine umfassende Suite von elektrischen und optischen Testwerkzeugen, die mit der Vier-Sonden-Einheit integriert werden können. Die Maschine bietet eine Vielzahl von mechanischen und betrieblichen Funktionen. Es ist mit einer hochpräzisen, vierachsigen Waferstufe ausgestattet, die einen Fahrbereich von bis zu 100 mm in den x-, y- und z-Ebenen sowie einen Neigungsbereich von bis zu ± 10 ° aufweist. Die Stufe kann sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung mit einem vollen Geschwindigkeitsregelbereich motorisch angetrieben werden. Zur reproduzierbaren und präzisen Probenpositionierung sind die Tastköpfe exakt auf Gleitschienen montiert. Es enthält auch ein Hochleistungsglasmikroskop zur Probenbesichtigung und Ausrichtung. Das Werkzeug verfügt über zwei unabhängige Vier-Sonden-Messkarten: eine Einkanalkarte für hochpräzise Messungen wie Bogenwiderstandsmessungen und eine Vierkanalkarte für parallele Messungen bis zu einer Bandbreite von vier GHz. Beide Karten haben verschiedene Signalkonditionierungsfunktionen, wie Auto-Null, Offset, Verstärkung und Tiefpassfilter, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu verbessern. Die Karten sind auch in der Lage, bis zu 16 Sonden gleichzeitig zu steuern, was Mehrpunktmessungen kleiner Proben ermöglicht. Die Anlage ist mit einer Reihe von Hochleistungsoptiken für die Bildgebung und Analyse ausgestattet, darunter eine CCD-Kamera, Hellfeldbeleuchter, ein polarisiertes Mikroskop und ein Farbbildmodell. Es bietet auch Echtzeit-Abtastrate von bis zu 50MHz, ermöglicht schnelle Messungen mit maximaler Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein umfassendes Software Development Kit (SDK), einschließlich einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI), sowie mehrere programmierbare APIs. Das SDK bietet erweiterten Zugriff auf die Funktionen des Systems und ermöglicht es Benutzern, maßgeschneiderte Lösungen zu erstellen, die auf ihre Projektanforderungen zugeschnitten sind. RTS-8 ist eine robuste und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiter- und verwandten Industrien gerecht wird. Es bietet einen kompletten Satz von Werkzeugen und Fähigkeiten für Wafertests, Schichtdickenmessungen, Kontaktwiderstandstests, Materialzusammensetzungsanalysen, Messungen des Leckstroms von Geräten und mehr. Die integrierte Optik der Maschine, Vier-Sonden-Messkarten, Echtzeit-Abtastrate und umfassendes SDK ermöglichen es, präzise und zuverlässige Ergebnisse zu liefern, so dass Benutzer ihre Produkte sicher entwickeln und optimieren können.
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