Gebraucht FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 #9188871 zu verkaufen
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ID: 9188871
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
Stress measurement system, 6"
FSM Stress gauge
2005 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 ist ein Wafer-Prüf- und Messsystem, das verwendet wird, um eine Vielzahl von Geräten auf Halbleiterscheiben zu messen und zu validieren. Es bietet eine hochauflösende, automatisierte und robuste Lösung für Wafer-Mapping, Prozesssteuerung und Ertragsmanagement für integrierte Schaltungen und optoelektronische Komponenten. Das Gerät umfasst eine Abtastarmbaugruppe mit integrierter Schwingungsisolierung sowie einen integrierten Motorantrieb und Positionssensor, eine Waferstufe, mehrere Waferhalter, ein optisches Mikroskop, eine LED-Inspektionslichtquelle und eine Bildaufnahme- und Analysesoftware. Der Hochgeschwindigkeits-Scan-Arm und die Konfigurationen mehrerer Wafer-Halter können bis zu zwölf eindimensionale Wafer oder 4x2 zweidimensionale Wafer gleichzeitig aufnehmen. Das integrierte Mikroskop enthält eine hochauflösende Tiefenfeldoptik mit LED-Beleuchtung zur Ausrichtungserkennung und Bildaufnahme. Die Probengröße kann von 4mm bis 200mm mit einer Genauigkeit von bis zu 1 Mikron in beiden Achsen reichen. Bilder können zur Visualisierung in 8-Bit- oder 24-Bit-RGB-Farbe angezeigt werden. Für die Bildanalyse verwendet die Maschine eine Vielzahl von Messungen und Algorithmen, um komplexe Strukturen genau zu messen und zu analysieren. Erweiterte Algorithmen zur Fehlererkennung oder verbesserten Sichtbarkeit können zur weiteren Analyse auf die ausgewählten Bereiche angewendet werden. Eine Vielzahl von Bildfiltertechniken wie Kontrasteinstellung, Farbreduktion, Kantenerkennung und Maskierung werden ebenfalls unterstützt. Das Tool bietet umfassende Berichtsfunktionen, um ein detailliertes Bild des Zustands des Wafers zu liefern, einschließlich statistischer und diagnostischer Informationen. Es umfasst auch eine breite Palette von Funktionen für die Nachbearbeitung und Datenanalyse, einschließlich mehrfacher kriterienbasierter Fehlersortierung und wiedereinstellbarer Fehlerkarten. Insgesamt ist FSM 128 Asset ein vielseitiges und hochfähiges Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das für den Einsatz in automatisierten Produktionsprozessen und der Chip-Entwicklung entwickelt wurde und in der Lage ist, eine detaillierte Analyse und Berichterstattung über den Zustand des Wafers zu erstellen. Die Kombination aus hochauflösendem optischem Mikroskop und LED-Lichtquelle mit fortschrittlichen Bildgebungs- und Analysefähigkeiten macht es zu einem kritischen Bauteil für die moderne Halbleitertechnologie.
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