Gebraucht FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT #9311397 zu verkaufen
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FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um End-to-End-Prozessfähigkeiten bereitzustellen. Mit diesem System können Chiphersteller mögliche Ursachen für Ertragsverluste identifizieren und die Prozessbedingungen verbessern. FSM 128NT umfasst eine Vielzahl von Hardware-, Software- und Messtechnik-Tools. Das Gerät verwendet pneumatisch gesteuerte mechanische Stufen, um Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu handhaben und gleichzeitig Feineinstellungen für Ebenheit und Neigung zu ermöglichen. Die Stufen sind so konzipiert, dass sie mit verschiedenen Test- und Messsystemen kompatibel sind, einschließlich fokussierter Ionenstrahlen, Fehleranalysen, optischer Inspektion, leitfähiger Atomkraftmikroskopie und anderer Sondierungstechniken. Die Maschine verfügt außerdem über ein mehrkanaliges Schwimmfutter mit einem einstellbaren Spannfuttertemperaturbereich, der von 1 ° C bis 300 ° C gesteuert werden kann und Flexibilität bei der Prüfung verschiedener Materialarten und Prozesse ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der Die-Map-Generator dem Benutzer die einfache Auswahl, Bearbeitung und Speicherung von Wafer-Karten, und es ist auch ein Tool zur Standorterkennung enthalten, das eine schnelle Bearbeitung von Proben mit höherer Genauigkeit ermöglicht. Die mitgelieferte Messtechnik verfügt über ein integriertes optisches Messtechnikmodell, das die gemusterten Merkmale mit verschiedenen interferometrischen Lasertechniken zur Bestimmung der Ätztiefe, der CD-Gleichmäßigkeit und anderer Parameter messen kann. FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NT bietet auch eine Datenkorrelation, um mehrere Test- und Messtechnikkanäle zu erfassen und zu verfolgen. Dadurch wird sichergestellt, dass die in jeder Phase erfassten Daten korreliert sind und im Laufe der Zeit nachverfolgt werden können. Die Ausrüstung verfügt auch über eine skalierbare Plattform, die speziell auf die Anforderungen der Produktionslinie ausgelegt werden kann. Dies reduziert den Bedarf an separaten Wafer-Test- und Messtechnik-Systemen und ermöglicht es dem Benutzer, das System nach Bedarf anzupassen und neu zu konfigurieren. 128NT ist eine umfassende Wafer-Test- und Messtechnik-Einheit, die die Werkzeuge und Funktionen bereitstellt, die für die Erzielung der höchsten Erträge und Leistungen erforderlich sind. Die Kombination aus Hardware-, Software- und Messtechnikwerkzeugen macht es ideal für Forschung und Entwicklung sowie für Anwendungen auf Produktionsebene.
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