Gebraucht FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series #9293061 zu verkaufen
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ID: 9293061
System
Used to evaluate the thermal properties
Stability of thin-film in semiconductor
III-V
Solar
LED
Data storage
MEMS
FPD Materials
3D Mapping and profiling included.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Präzisionsmessungen für Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Seine Hauptanwendungen sind die Identifizierung und Analyse verschiedener Defekte sowie die Bereitstellung einer Reihe von Lösungen, um sie zu verhindern und zu reduzieren. Das System besteht aus einem Hauptkörper, selbstfühlenden Stufen, Probensondenarmen und einer Vielzahl von Modulen und Zubehör. Der Hauptkörper der FSM 500 Serie ist mit einer motorisierten XYZ-Stufe, einer Vakuumeinheit, einer Trägheitskiste, einer Sputtermaschine und zwei Musterhebern ausgestattet. Die Bühne hat einen Scanbereich von 25 mm x 20 mm und ist in der Lage, bis zu acht Wafer zu handhaben, von einem 4-Zoll bis zu einem 8-Zoll-Wafer. Das Vakuumwerkzeug ermöglicht die sichere Montage des Wafers innerhalb der Vorrichtung. Darüber hinaus ermöglicht die eingebaute Trägheitsbox eine genaue Platzierung und Orientierung der Proben. Die Sputteranlage verwendet dann Edelgas, um einen dünnen Sauerstofffilm zu erzeugen, der eine optimierte Prüfung des Wafers ermöglicht. Die Arme der FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Serie bewegen sich entlang der X-, Y- und Z-Achse und haben einen Bewegungsbereich von 20 mm bzw. 140mm. Sie halten sich an die Konstruktionsprinzipien eines dynamischen und statischen Kompensationsvorspannmodells, um die Reibung zu minimieren. Die Arme sind auch mit Luftlagern ausgestattet, um den Flächenkontakt zu reduzieren, was zu weniger Verschleiß und zuverlässigem Betrieb führt. Die Module und das Zubehör für die 500er Serie umfassen Quarzbearbeitungsstationen, Ionenfrässysteme und Wafer-Mapping-Systeme. Die Quarzbearbeitungsstation dient zur Ätzung, Abscheidung, Oberflächenaktivierung und verschiedenen anderen chemischen Oberflächenbehandlungen. Die Ionenfräse ermöglicht eine präzise Fehleranalyse und Ionenimplantation. Das Wafer-Mapping-System verwendet eine präzise Lasereinheit, um den genauen Standort des Wafers zu messen. Insgesamt ist FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die entwickelt wurde, um Präzisionsmessungen für Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Mit seinem Hauptkörper, selbstfühlenden Stufen, Probensondenarmen und einer Vielzahl von Modulen und Zubehör ist es in der Lage, verschiedene Defekte schnell und genau zu identifizieren und zu analysieren sowie Lösungen anzubieten, um sie zu reduzieren oder zu verhindern.
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