Gebraucht GEMETEC Elymat III #9137889 zu verkaufen
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ID: 9137889
Wafergröße: 12"
Electrolytical metal analysis tool, 12"
Measurement precision diffusion length: 5% Over 10 repeated measurements
Measurement accuracy diffusion length: 10% Compared with similar techniques
Laser beam scans across silicon wafer immersed electrolytic cell (Dilute HF)
With applied voltage and resulting diffusion current measured
Measurement modes: BPC & FPC
Diffusion current decreases due to partial recombination diffusing carriers
Measuring different laser intensities allows iron to be identified.
GEMETEC Elymat III ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Verbesserung der Wafer-Inspektion und der Produktionsprozesskontrolle. Es bietet Anwendern die Möglichkeit, die elektrischen, physikalischen und dimensionalen Schlüsselparameter eines Wafers genau und genau zu messen und ermöglicht eine detaillierte Inspektion jedes Geräts in einem Wafer. Durch Automatisierung und berührungsloses optisches Mapping ermöglicht es Vollwafer-Bildgebung und Datenextraktion. Das System nutzt eine fortschrittliche monochromatische digitale Bildgebung und bietet Benutzern eine extrem präzise Bildauflösung. Eine mechanische Plattform ermöglicht das Waferscannen in verschiedenen Konfigurationen. Das Gerät ist kompatibel mit einer breiten Palette von Wafergrößen, einschließlich 150mm, 200mm, 250mm und 600mm. Darüber hinaus stellt die automatisierte Musterprüfung sicher, dass Benutzer alle gedruckten Merkmale auf einem Wafer schnell und genau messen können. Der Kern von Elymat III ist seine Kameraeinheit, die eine fortschrittliche gitterbasierte Bildgebungstechnik verwendet. Diese Maschine ermöglicht die Messung von Merkmalen auf einem Wafer oder anderen Materialien mit hoher Auflösung. Die gitterbasierte Bildgebung ermöglicht auch die Prüfung elektrischer Geräte und unterstützt eine Vielzahl von Gerätetypen, wie Gitter, Standardzellen und hochdichte Strukturen. Ein weiteres wichtiges Merkmal des Werkzeugs ist die berührungslose optische Abbildung. Diese Technologie ermöglicht die Vollwafer-Bildgebung und Datenextraktion in wenigen Minuten und ermöglicht den Anwendern eine genaue Bewertung des gesamten Wafers. Das berührungslose optische Mapping ermöglicht es Benutzern auch, das Vorhandensein guter Funktionen schnell und einfach zu überprüfen, Fehler zu erkennen und Probleme mit der elektrischen Kopplung zu identifizieren. GEMETEC Elymat III bietet genaue und konsistente Messungen jedes Merkmals auf einem Wafer. Es unterstützt eine breite Palette von elektrischen und physikalischen Parametern, wie Widerstand, Kapazität und Dielektrizitätskonstanten. Die Anlage bietet zudem 3D-profile Charakterisierungs- und Kontaminationsüberwachung, so dass Anwender Prozessbedingungen schnell optimieren und Kontaminationen auf dem Wafer minimieren können. Insgesamt bietet Elymat III Wafer-Test- und Messtechnik-Fähigkeiten mit zuverlässiger Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Seine breite Palette von Funktionen, zusammen mit seiner berührungslosen optischen Mapping-Technologie, machen es zu einem idealen Modell für die Verbesserung der Wafer-Inspektion und Prozesskontrolle.
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