Gebraucht HANRA HRI 580L #293635047 zu verkaufen

HANRA HRI 580L ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es integriert die neuesten optischen, Bildverarbeitungs- und Robotertechnologien, um Waferoberflächen mit hoher Präzision und Genauigkeit zu inspizieren und zu verarbeiten. Das System ist in der Lage, verschiedene Eigenschaften wie Reflexion, Oberflächenebenheit, Profil, Dicke und Dotierung Konzentrationen auf einer Vielzahl von Materialien in der Halbleiterbauelementherstellung verwendet zu messen. HRI- 580L besteht aus einer Werkzeugbasis, einem Wafer-Manipulationswerkzeug und einer Bildanalyseeinheit. Der Werkzeugsockel ist mit einer Drehpositionierstufe ausgestattet, die eine genaue Positionierung des Wafers und eine kontinuierliche Bewegung bis zu einer Drehung von 1 Grad ermöglicht. Es enthält auch die X-Y-Z-Achsen, die eine präzise Waferausrichtung ermöglichen, sowie einen Wafer-Puck, um den Wafer zu sichern und zu bewegen. Das Wafer-Manipulationswerkzeug dient dazu, den Wafer präzise über die rückgestreute Elektronenbildmaschine zu bewegen und zu manipulieren. Das Bildanalysewerkzeug umfasst ein optisches Mikroskop, ein Fluoreszenzmikroskop und ein Laserinterferometer zur Messung von Oberflächenebenheit, Dotierstoffen und Oberflächentopographie. HANRA HRI 580L bietet Präzisionstests, Mapping und bildgebende Funktionen. Die Anlage ist mit einer vollautomatischen Kalibrierung ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit der Messung und Verarbeitung ermöglicht. Das optische Mikroskop und das Laserinterferometer messen die Reflexionseigenschaften einer Waferoberfläche, während das Fluoreszenzmikroskop die Abbildung von Dotierstoffkonzentrationen ermöglicht. Die Mapping-Funktionen des Modells ermöglichen die Aufnahme mehrerer hochauflösender Bilder, die eine detaillierte Analyse der Oberfläche eines Wafers und die Prüfung auf Fehler ermöglichen. HRI 580L bietet auch Datenerfassungs- und Analysefunktionen. Es kann verschiedene Daten aus mehreren Quellen erfassen und analysieren, einschließlich Wellenformen, Bilder und statistische Analyse. Die benutzerfreundliche Software ermöglicht eine Datensynchronisation, die für die Prozesssteuerung nützlich ist. Die Software kann auch Daten für eine spätere Verwendung speichern. HANRA HRI 580L ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die präzise und präzise Mess- und Verarbeitungsfunktionen bietet. Es verfügt über ein automatisiertes Kalibriersystem, ein optisches Mikroskop, ein Laserinterferometer, ein Fluoreszenzmikroskop und eine automatisierte Abbildung. Die Einheit kann verschiedene Daten aus mehreren Quellen erfassen und ermöglicht eine detaillierte Analyse und Prozesssteuerung.