Gebraucht HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060 zu verkaufen
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ID: 128060
Surface reflectance analyzer
Multi-channel
Full surface scans in less than 10 seconds
Patented temperature stabilized laser technology
Simultaneous S, P, Phase
Scattered light acquisition
Sub-angstrom sensitivity to overcoat and lubricant variations
Magnetic Imaging
0.1 Micron x 0.003 degree precision
3.2 Micron resolution
Air bearing spindle with integrated vacuum clamp for fast load / unload of disks
Includes:
65mm and 95mm collets for disks
Missing part:
Knob on back of analyzer.
HDI IPS-6000/SRA-FA ist eine hochpräzise automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik zur Inspektion von Halbleiterscheiben und integrierten Schaltungen (ICs) auf Unvollkommenheiten und strukturelle Defekte. Das System umfasst sowohl elektrische Tests als auch optische Inspektionsmöglichkeiten, die schnelle und zuverlässige Messungen von Waferdicke, Ebenheit, Musterlinearität und anderen wichtigen Eigenschaften ermöglichen. Das IPS-6000 verfügt über ein modulares, mehrachsiges Design mit integrierten Bewegungssensoren und einem kompakten, leichten Design für einfache Installation und Wartung. Das Gerät umfasst eine fortschrittliche Bewegungssteuerungsmaschine, um die Abtastgeschwindigkeit, den Bewegungsbereich und die Positionierung der Bühne während der Messoperationen genau zu steuern. Das Werkzeug kann auch konfiguriert werden, um mehrere Wafer in einer kontinuierlichen Reihenfolge zu messen, was eine erhöhte Genauigkeit und Durchsatz ermöglicht. Das Asset verwendet ein Kameramodell mit fortschrittlicher Optik und einer Hochleistungs-Bildgebungsausrüstung, um den gesamten Wafer auf Fehler und Unvollkommenheiten zu scannen. Das System ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Umgebungen konzipiert, von Reinrauminstallationen bis hin zu Umgebungen mit hoher Luftfeuchtigkeit. Es ist auch einfach, für kundenspezifische Messungen neu zu konfigurieren, einschließlich der genauen Messung der Definition von Mustern und Mikrostrukturen. Neben der optischen Inspektionseinheit enthält die IPS-6000 auch eine elektrische Testmaschine mit analogen und digitalen Schnittstellenfähigkeiten. Dies ermöglicht die elektrische Prüfung von Dünnschichttransistoren (TFTs) und anderen Aktiv-Matrix-Elementen sowie elektrische Standardleistungsmessungen auf Waferebene. Schließlich umfasst IPS-6000/SRA-FA auch eine FA-Datenanalysesoftware zur umfassenden Auswertung der Wafer und integrierten Schaltungen. Diese Software umfasst eine Vielzahl von Analysefunktionen, einschließlich Echtzeit-Fehlererkennung, Fehlerbewertung, Nachverfolgung und Prozessüberwachung. Die Software kann für spezielle Tests und Messgrößen für bestimmte Kunden angepasst werden, was sie zu einem unverzichtbaren Bestandteil für die Qualitätssicherung macht.
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