Gebraucht HELIOTIS Helicam 3.0 #293641501 zu verkaufen
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ID: 293641501
Optical Coherence Tomography (OCT) System
Camera: 1 MIP FPS
X-Y Axis table
Controller
PC.
HELIOTIS Helicam 3.0 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für Präzisionsleistung in der Halbleiterproduktion, Forschung und Entwicklung entwickelt wurde. Es besteht aus einer Reihe innovativer Hardware- und Softwarekomponenten, die zusammenarbeiten, um ein beispielloses Maß an Genauigkeit, Stabilität und Wiederholbarkeit bei der Messung, Inspektion und Analyse von Oberflächenmustern einer Vielzahl von Halbleitermaterialien zu liefern. Das Helicam 3.0 wird um das preisgekrönte optische Bildgebungssystem HELIOTIS gebaut. Diese Einheit basiert auf einer in sich geschlossenen Reihe von Komponenten, die so angeordnet werden können, dass sie bei Bedarf ein großes Sichtfeld und eine große Auflösung bereitstellen und eine breite Palette von Ausgabeformaten und Optionen zur Verfügung stellen. Diese Maschine umfasst eine umgebungsgesteuerte Bühne, eine S-VGA-Kamera, Echtzeit-Video und proprietäre Bildanalyse und Softwarepakete. Das Werkzeug ist mit einer maßgeschneiderten hochpräzisen lufttragenden Messtechnik-Stufe ausgestattet, die bis zu drei Mikrometer Genauigkeit mit Wiederholbarkeit von 0,5 Mikrometern bietet, wenn das abgebildete Muster statischer Natur ist. Die Stufe besteht aus einem Keramikkern-Kehrrotor, einer Graphitlagerfläche und präzisen Linearführungsblöcken zur Gewährleistung absoluter Geschwindigkeitsstabilität. Der Sensor ist mit einer hochpräzisen Bewegungssteuerung integriert, die präzise Bewegungen bis zu 0,1 µm/s ermöglicht. Die Helicam 3.0 verfügt auch über ein automatisiertes Vision-Modell, das Funktionen mit hoher Genauigkeit erkennen, fokussieren und messen kann. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie das Risiko von Fehlern durch Kameradrift oder Aus-Sicht-Messung reduziert und keine separate Ausrichtung erfordert. Die Helicam 3.0 ist darüber hinaus mit einem integrierten Kalibrier- und Positioniersystem ausgestattet, das dazu dient, präzise Bilder zu liefern und die Winkelausrichtung zu ermöglichen, die für eine automatisierte Musteranpassung und -prüfung erforderlich ist. Das Gerät ermöglicht eine präzise Ausrichtung der Zielorte und ist sowohl in die Bewegungs- als auch in die Bildanalyse-Steuerung für automatisierte Scanvorgänge integriert. Die Maschine ist auch mit einer proprietären MagicPrintSmart™-Software von HELIOTIS ausgestattet, die die Werkzeuge bereitstellt, die erforderlich sind, um anspruchsvolle Wafermessungen und Analysen durchzuführen, einschließlich Overlay, CD/FID-Analyse, Fehlerinspektion und Überprüfung. Insgesamt ist das Helicam 3.0 ein hochentwickeltes und präzises Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das präzise Ergebnisse schnell, effizient und kostengünstig liefert. Es bietet eine einzigartige Kombination von Technologien und Funktionen, die es zur perfekten Wahl für eine breite Palette von Halbleiterproduktionsanforderungen machen.
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