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HEXAGON METROLOGY Global Performance ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell für die hohen Anforderungen der Chipherstellung entwickelt wurde. Die Plattform bietet eine umfassende Palette von Bereichen, darunter Mehrfachmustererkennung, fortschrittliche Chipinspektion und eine Reihe fortschrittlicher Messtechnik-Tools. Diese einzigartige Plattform bietet leistungsstarke und disruptive Lösungen, mit denen Teams extrem präzise Geräte schnell überprüfen, analysieren und messen können. Dieses spezielle System ist für die Chipherstellung optimiert, um Tests und Messtechnik auf einer Vielzahl von Substraten durchzuführen. Es verfügt über zwei Hauptkomponenten - die Inspektions- und Messtechnik-Funktionen. Die Prüfkomponente ist für die schnelle Erkennung von Fehlern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt. Diese Komponente ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten wie SiO2, SiN3 und Quarz zu überprüfen. Darüber hinaus ist es mit einer Vielzahl von Bilderkennungsalgorithmen und fortgeschrittenen Algorithmen ausgestattet, die Muster wie Linienstrahlen, Kreise und mehr erkennen können. Die Messtechnik-Komponente wurde entwickelt, um Präzisionskomponenten mit Nanometergenauigkeit zu messen. Es bietet eine Vielzahl von Messungen wie Widerstand, Reflektivität, Topographie und mehr, die typischerweise in der Chipherstellung verwendet werden. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, ist das Gerät mit automatisierten Kalibrierwerkzeugen sowie laserbasierten Ausrichtungsmöglichkeiten ausgestattet. Darüber hinaus ist die Maschine mit Multijoint-Robotermanipulatoren ausgelegt, um noch höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Insgesamt ist die Global Performance Platform ein fortschrittliches Test- und Messtechnik-Tool, das Teams leistungsstarke und disruptive Lösungen bietet. Es bietet ein umfassendes Funktionsspektrum, das auf die hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Chipherstellung ausgelegt ist. Die robuste Kombination aus Inspektionen und messtechnischen Funktionen schafft ein einzigartiges Werkzeug, mit dem Teams extrem präzise Geräte schnell und präzise prüfen und messen können.
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