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HEXAGON METROLOGY Global Vantage ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Hochvolumen-Halbleiterindustrie. Es verwendet modernste Technologie, um Fehler auf Wafern und Substraten genau zu messen und zu erkennen. Das System verfügt über umfassende Inspektionsmöglichkeiten und nutzt sowohl 2D- als auch 3D-Technologien, um eine breite Palette von potenziellen Fehlern zu erkennen. Global Vantage bietet eine automatisierte optische Inspektionseinheit zur effizienten und genauen Oberflächeninspektion von Halbleiter- und Speicherscheiben. Es ist mit eingebauten Verfahren zur Identifizierung verschiedener Arten von Defekten wie Kratzern, Fremdpartikeln und Rissen auf Wafern und Substraten ausgestattet. Die Maschine verfügt außerdem über eine umfassende CCD-Bildfusionstechnologie, die es dem Benutzer ermöglicht, Frontal- und Seitenansichten jedes Wafers zu kombinieren, um ihn besser zu analysieren. Das Tool bietet auch eine Reihe von anspruchsvollen Wafer-Messtechnik-Lösungen. Sein Wafer-Oberflächenmapping-Element liefert genaue Messungen der Topographie eines Wafers oder Substrats. Es unterstützt auch eine breite Palette von fortschrittlichen Inspektionstechniken wie SEM, FIB, AFM und Nanoskopie, so dass Anwender mikroskopische Defekte in den anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen schnell erkennen können. Dieses leistungsstarke, präzise Modell ist für den Betrieb mit minimalen Ausfallzeiten konzipiert und bietet eine breite Palette von Ausstattungskonfigurationsoptionen. Das kompakte Design und die einfache Integration des Systems machen es für jede Halbleiterproduktionsumgebung geeignet. Es verfügt auch über eine gemeinsame Software-Schnittstelle mit Fernzugriff, so dass Benutzer auf alle Untersysteme von jeder Computerstation aus zugreifen und konfigurieren können. HEXAGON METROLOGY Global Vantage ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug zur Erkennung von Defekten auf Wafern und Substraten. Seine anspruchsvollen messtechnischen Lösungen und automatisierten optischen Inspektionsmöglichkeiten bieten eine unübertroffene Qualitätssicherung für die anspruchsvollsten Halbleiterproduktionsumgebungen. Ob für Wafer-Oberflächenmapping, Fehlerinspektionen oder für fortschrittliche messtechnische Lösungen - Global Vantage ist die perfekte Einheit für die großvolumige Halbleiterindustrie.
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