Gebraucht HITACHI ZA-H200UND #9383303 zu verkaufen

ID: 9383303
CD Measurement system.
HITACHI ZA-H200UND ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Charakterisierung von hergestellten und gefertigten Halbleiterscheiben. Es bietet eine breite Palette von Fähigkeiten, einschließlich Nassätzung, Fehleranalyse, Partikelinspektion, LEIS (Low Energy Ion Spectroscopy) und QCM (Quarz Crystal Microbalance). ZA-H200UND hat eine Kammer mit 543 mm Durchmesser, die bis zu 200 Wafer aufnehmen kann. Das System ist mit einem Hochgeschwindigkeitsmotor ausgestattet, der den Wafer mit bis zu 200 Umdrehungen pro Minute drehen kann. Der Hochgeschwindigkeitsmotor, kombiniert mit der großen Öffnung der Kammer, ermöglicht es HITACHI- ZA-H200UND, während der Waferbearbeitung und Messtechnik präzise Messungen wie kritische Dimension (CD) und Fehlerbildgebung durchzuführen. Die hochauflösenden Detektoren des Geräts sammeln Daten mit ausgezeichneter Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Maschine weist ferner ein Bewegungssteuermodul auf, das es dem Benutzer ermöglicht, die Sonde exakt relativ zu den Proben zu positionieren. Datenwerte können direkt vom Instrument gespeichert oder gedruckt werden. Die hohe Bildqualität von ZA-H200UND wird durch eine Vielzahl fortschrittlicher Hardwarekomponenten unterstützt. Dazu gehört die Verwendung einer wellenlängenkompensierten Linse, die es dem Werkzeug ermöglicht, Bilder mit sehr geringer Verzerrung zu erfassen; ein Farbfilterrad, das es dem Benutzer ermöglicht, die Wellenlänge der Probe anzupassen, um den Fokus zu verengen und die Ausleuchtung zu reduzieren; und eine Stereomikroskop-Objektivlinse, die eine größere Schärfentiefe bereitstellt und die Analyse mikroskopisch kleiner Defekte ermöglicht. Weitere Features von HITACHI ZA-H200UND sind ein automatisiertes Ausrichtungs-Softwarepaket, das es dem Anwender ermöglicht, mehrere Wafer mit konsistenter Zuverlässigkeit schnell auszurichten und zu messen. ZA-H200UND verwendet auch eine Nanomap-Funktion, so dass der Benutzer die Messungen auf einen bestimmten Bereich oder ein bestimmtes Gerät auf dem Wafer leicht eingrenzen kann. Zusammenfassend ist HITACHI ZA-H200UND ein hochmoderner Wafer-Test- und Messtechnikkomplex, der sowohl für die Charakterisierung von hergestellten als auch von hergestellten Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es verfügt über einen Hochgeschwindigkeitsmotor, hochauflösende Detektoren, ein Bewegungssteuermodul, eine automatische Ausrichtungssoftware und eine Vielzahl fortschrittlicher Hardwarekomponenten, die dem Benutzer die Möglichkeit bieten, präzise Messungen, kritische Dimensionsbilder und Fehlerbilder durchzuführen. Die Nanomap-Funktion von ZA-H200UND bietet dem Benutzer die Möglichkeit, seine Messungen genau einzugrenzen und ist damit ein ideales Modell für die fortschrittliche Wafer-Messtechnik und Prozessentwicklung.
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