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HOMMEL T2000 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein leistungsstarkes multifunktionales System, das für fortschrittliche Halbleiterprozesssteuerung und Feldmesstechnik entwickelt wurde. Das Gerät bietet eine umfassende Palette automatischer Wafertests und messtechnischer Funktionen und bietet eine vollständige Palette schneller und genauer Messungen, um Herausforderungen bei der Prozess- und Produktkonsistenz zu erkennen und zu identifizieren. T2000 verfügt über erweiterte Wafer-Bildgebungsfunktionen, einschließlich hochauflösender Bildgebung, automatischer Fehlererkennung und Auf-Wafer-Defekt-Charakterisierung. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von voll integrierten Wafer-Testmodulen, einschließlich IV, C-V, und spezialisierte Vollchip-Prozessüberwachung und Prozesskontrolle Tests. Das Tool wurde entwickelt, um alle Arten von Wafern zu handhaben, einschließlich Standard-, fortgeschrittene und kundenspezifische Größen. Mit der Fähigkeit, die Wafergrößen innerhalb desselben Testkopfes leicht zu ändern, kann das Asset schnell und präzise zwischen verschiedenen Größen wechseln. Dies ermöglicht die gleichzeitige Prüfung mehrerer Wafer mit einer Vielzahl von Größen. HOMMEL T2000 enthält eine Reihe anpassbarer Software-Tools und Wafer-Testrezepte, mit denen Benutzer Testparameter für ihre spezifischen Anwendungen schnell und genau festlegen können. Darüber hinaus bietet das Modell eine vollständige Automatisierung der Testausführung mit mehreren Testkopf und mehreren Waferladern, um alle Arten von Testwafern schnell zu bearbeiten. Neben umfassenden Wafer-Test- und Metrologie-Funktionen bietet T2000 auch hervorragende Wafer-Tracking- und Traceability-Funktionen. Mit benutzerdefinierten Pass/Fail-Tests können Benutzer schnell und genau Wafer oder Lose identifizieren, die Spezifikationen nicht erfüllen, einschließlich Wafergeometrie, Musterung, Topographie oder andere potenzielle Probleme. Insgesamt bietet HOMMEL T2000 Wafer Testing and Metrology Equipment eine leistungsstarke Kombination aus Leistung, Genauigkeit und Flexibilität, die es zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Industrieanwendungen macht. Die robuste Reihe von Technologien des Systems ermöglicht es Benutzern, Prozess- und Produktprobleme schnell und genau zu erkennen und zu identifizieren, und seine vollständige Automatisierung sowie seine Rückverfolgbarkeit und hochauflösende Bildgebungssteuerungen machen T2000 zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterprozesssteuerung.
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