Gebraucht IMS LVIS-2005 #9144063 zu verkaufen
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IMS LVIS-2005 ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde und auf dem Testmodell Light Duty Resolution (LDR) basiert. LVIS-2005 bietet modernste Funktionen, um eine breite Palette von Waferkonfigurationen präzise zu testen. Das System ist in der Lage, eine Reihe von Parametern zu messen, einschließlich Formgröße, Formwinkel, Ätztiefe und -profil und Waferdicke. Das Gerät arbeitet auf einer lichtquellenbasierten, berührungslosen Messtechnik-Plattform mit einer eingebauten Scanmaschine, die automatische, höherwertige und hochpräzise Messungen ermöglicht. Das Werkzeug weist eine optische Stufe mit 8 Zoll Durchmesser auf, die mit einer 6-Achsen-Stufe gekoppelt ist, die beide in der Lage sind, die Wafer innerhalb von plus/minus 1 Mikron ihres Sollwertes zu positionieren. Die Bühne ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen von 8-Zoll bis 6-Zoll zu unterstützen und ist in der Lage, Wafergrößen von Designs kleiner als 1 Mikron bis zu 5 Mils aufzunehmen. IMS LVIS-2005 kann mit seinem hochauflösenden Bildverarbeitungsmaterial verschiedene Funktionen auf dem Wafer abbilden. Das bildgebende Modell umfasst hochauflösende CCD-Kameras, eine komplette Software-Suite und eine große Sammlung von Scaninstrumenten. Es ist in der Lage, die Höhe und die Abmessungen von Matrizen, Gruben, Stufen, Linienbreiten und Oberflächentopographie präzise zu messen. Die Ausrüstung ist auch mit einer Vielzahl von Tools zur Test- und Messtechnik-Unterstützung ausgestattet, um Genauigkeit und Effizienz zu gewährleisten. Diese Werkzeuge umfassen ein kostengünstiges Verifizierungssystem für kleine Wafer, eine automatisierte Mustererkennungseinheit, eine hochauflösende Overscan-Maschine, ein mehrachsiges Job-Polynom-Regressionswerkzeug, ein Multi-Facet-Spektral-Testmuster-Asset und ein Steuerungsmodell. TheLVIS-2005 ist in der Lage, genaue und präzise Daten im Vergleich zu anderen Waferinspektionssystemen zu liefern. Das berührungslose Scansystem des Geräts ist für Messungen mit geringer Auflösung ausgelegt und bietet eine breite Palette an Flexibilität für verschiedene Wafertypen. LVIS-2005 ist für hochpräzise komplexe Messungen zur High-End-Wafer-Fertigung ausgelegt. Diese Einheit bietet eine automatisierte Messtechnik-Plattform, um Qualitätssicherung und Ertragsmanagement zu erleichtern.
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