Gebraucht IMS LVIS #9160840 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9160840
Weinlese: 2009
Visual inspection systems
Currently installed in clean room
2009 vintage.
IMS LVIS ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung der Firma Image Metrology Systems. Das System ist spezialisiert auf die Prüfung von Mikrostrukturen auf Wafern und ermöglicht eine eingehende Analyse dieser Strukturen. Es wurde speziell entwickelt, um die geometrischen Eigenschaften und elektrischen Eigenschaften von III-V, SiGe und SOI Gerätestrukturen zu messen. Das Gerät arbeitet mit einer Stufe, die auf einem Präzisionsluftlager montiert ist, um die Probenstufen zu bestimmten Ausrichtungsbereichen zu bewegen und zu positionieren. Eine integrierte Digitalkamera, gekoppelt mit spezialisierter Software, wird verwendet, um Bilder der Probe in verschiedenen Vergrößerungen zu erfassen. Anschließend werden die Bilder analysiert und zur Messung spezifischer Eigenschaften der Probe einschließlich geometrischer Eigenschaften verwendet. LVIS ist in der Lage, eine breite Palette von geometrischen Eigenschaften zu messen, wie 2D- und 3D-Linienbreiten, Kantenprofile und Seitenwandwinkel. Es kann auch elektrische Eigenschaften wie Widerstand, Kontaktwiderstand und dielektrische Eigenschaften messen. Die Maschine ist auch in der Lage, mehrere Proben gleichzeitig zu messen, was bedeutet, dass sie sowohl für Forschungsanwendungen als auch für Produktionslinien mit hohem Durchsatz ideal ist. IMS LVIS ist auch in der Lage, präzise Positions- und Orientierungsmessungen durchzuführen, die eine präzise Ausrichtung der Probe während des Testprozesses ermöglichen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Genauigkeit der Messungen durch falsche Lage oder Orientierung der Probenstufen nicht beeinträchtigt wird. Schließlich erhalten die Anwender eine große Kontrolle und Flexibilität hinsichtlich des Prüf- und Messvorgangs. Erweiterte Konfigurationsoptionen ermöglichen es dem Benutzer, eine bestimmte Testsequenz zu erstellen, die ein Array automatisierter Funktionen verwendet, mit denen mehrere Beispiele in einem einzigen Lauf gemessen werden können. Insgesamt ist LVIS ein leistungsfähiges und genaues Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool, das modernste Laser-Bildgebungstechnologie mit leistungsfähiger Softwareanalyse vereint. Auf diese Weise können geometrische und elektrische Eigenschaften an Proben mit beispielloser Genauigkeit und Detailgenauigkeit gemessen werden.
Es liegen noch keine Bewertungen vor