Gebraucht IMS / NANOTECH LVIS-3+ #9314421 zu verkaufen

IMS/NANOTECH LVIS-3 + wafer testing and metrology equipment ist ein fortschrittliches und hochpräzises Instrument zur Charakterisierung und Beschleunigung der Auswertung von Halbleiterscheibensubstraten. Das System verwendet eine neuartige Kombination aus Laserscanning, optischer Messtechnik und Spannungsmesstechnologien, um eine detaillierte zerstörungsfreie Abbildung der Wafereigenschaften sowohl in der Topographie als auch in der Elektrik zu ermöglichen. IMS LVIS-3 + wurde entwickelt, um Wafer für verschiedene Anwendungen wie die Herstellung von mikroelektronischen Geräten, Mikrosystemen und Sensoren zu testen und zu charakterisieren. Insbesondere soll die Einheit Prozesse wie Photolithographie, Oxidation, Diffusion, Abscheidung und Ätzen sowie strukturelle Defekte und Verunreinigungen analysieren. Die Maschine ist für eine breite Palette von Materialien geeignet, darunter III-V-Halbleiter, Silizium-auf-Isolator (SOI), Siliziumnitrid, Aluminium und andere abgeschiedene und geätzte Strukturen. NANOTECH LVIS-3 + verwendet ein hochauflösendes Laser-Rastermikroskop (LSM), das in der Lage ist, Oberflächentopographie und elektrische Eigenschaften mit einer räumlichen Auflösung von 0,07 µm zu messen. Es ermöglicht die Charakterisierung verschiedener Prozesse und Parameter wie Kontaktfläche, Hohlräume, Korngröße, Oberflächenverschmutzung und Gleichmäßigkeit. Das Werkzeug ist mit einem hochauflösenden Weißlicht-Interferometer ausgestattet, das zur Messung von Schritthöhen und zur Kontrolle der Foliendicke verwendet wird. Die Anlage ist auch mit Spannungssonden und einem Spannungsmonitor integriert, so dass elektrische Schaltungen, Kontaktwiderstand und Überwachung von Stromleckagen oder Kurzschlüssen gemessen werden können. LVIS-3 + ist hocheffizient und kann bis zu 15 Standorte gleichzeitig untersuchen. Darüber hinaus ist das Modell unter Berücksichtigung des automatisierten Durchsatzes konzipiert und bietet mehrere automatisierte Analyse- und Bearbeitungsfunktionen. Dies ermöglicht eine schnellere und umfassendere Auswertung der Wafereigenschaften. Darüber hinaus bietet das Gerät eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für die Programmierung und Bedienung des Systems, so dass es für erfahrene und unerfahrene Benutzer einfach eingerichtet und verwendet werden kann. Zusammenfassend ist IMS/NANOTECH LVIS-3 + eine leistungsstarke und anspruchsvolle Wafertest- und Messtechnik-Einheit, die eine zuverlässige und umfassende Charakterisierung von Wafersubstraten ermöglicht. Es ermöglicht die Auswertung von Foliendicke, Topographie und elektrischen Eigenschaften mit hoher Genauigkeit und hohem Wirkungsgrad. Die benutzerfreundlichen und automatisierten Funktionen machen es für erfahrene und unerfahrene Benutzer geeignet.